GasShield®使用場所フィルター

最大のガス濾過効率、信頼性、業界をリードする流量の一貫性を実現するため、GasShield® 使用時点フィルターは超高純度 (UHP) ガス供給アプリケーションに最適です。 これらのポイントオブユースフィルターはさまざまな材質で入手でき、ほとんどの高純度エレクトロニクスグレードのプロセスガスと互換性があり、最適なパフォーマンスを保証します。

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資料とデータシート

代表的なアプリケーション

ポイントオブユースフィルターは、次の目的でガススティックで使用されます。

製品の仕様

操作条件

»最大動作圧力:最大3750 psig(258 barg)

»不活性ガスの最高使用温度:460°C

»最大差圧:1000 psid(68.9バール)

材料

»ハードウェア:ステンレス鋼、ステンレス鋼VAR、または合金22 *

»フィルター媒体:ステンレス鋼、ニッケル、合金22 *、またはステンレス鋼繊維

» 接液ハードウェアの表面仕上げ: ステンレス鋼または Hastelloy® ハードウェアの場合は 5 Ra

» カスタムオプションも利用可能

*合金22またはUNSN06022は、一般にハステロイ®C-22®と呼ばれるニッケル-クロム-モリブデン超合金です。

技術仕様
粒子除去サイズ: ≥0.0015μm
フィルター効率 (ログ削減値): 9 LRV(99.9999999%の粒子減少)。

SEMI F0.08-38試験法による0699μmの最も浸透する粒子サイズで確認

ヘリウムリーク評価: 1 x 10-9 atm cc /秒
水分の寄与: SEMI F10試験方法に従って、低流量周囲パージで1時間後に<27 ppb
総炭化水素: SEMASPEC 90120396Bテスト方法による検出限界以下
パーティクルシェディング: SEMI F1-43試験方法によるバックグラウンドを超えるゼロ粒子寄与(<0308粒子/ft³)
フィッティングと寸法
POU-03

部品の説明 継手タイプ Aインチ/ mm Bインチ/ mm Cインチ/ mm
POU-3-SV1

POU-3-HV1

POU-3-HSV1

POU-3-NSV1

¼インチオス/オスフェイスシール 3.31/84.0 1.50/38.1 1.062/26.9
POU-3-SV3

POU-3-HV3

POU-3-HSV3

½インチオス/オスフェイスシール 3.31/84.0 1.50/38.1 1.062/26.9
POU-05

部品の説明 継手タイプ Aインチ/ mm Bインチ/ mm Cインチ/ mm
POU-05-SV1

POU-05-HV1

POU-05-NSV1

¼インチオス/オスフェイスシール 3.31/84.0 0.75/19.0 0.812/20.6
POU-05-ST1

POU-05-NST1

¼インチ。突合せ溶接チューブスタブ 3.31/84.0 0.75/19.0 無し
POU-05-FSV1 ¼インチオス/オスフェイスシール 3.31/84.0 0.75/19.0 0.625/15.9
POU-10

部品の説明 継手タイプ Aインチ/ mm Bインチ/ mm Cインチ/ mm
POU-10-SV1

POU-10-HV1

POU-10-HSV1

¼インチオス/オスフェイスシール 5.00/127.0 1.50/38.1 1.062/26.9
POU-10-SV3

POU-10-HV3

POU-10-HSV3

½インチオス/オスフェイスシール 5.00/127.0 1.50/38.1 1.062/26.9
POU-10-ST1 ¼インチ。突合せ溶接チューブスタブ 5.00/127.0 1.50/38.1 無し
POU-10-ST3 ½インチ。突合せ溶接チューブスタブ 5.00/127.0 1.50/38.1 無し
POU-30

部品の説明 継手タイプ Aインチ/ mm Bインチ/ mm Cインチ/ mm
POU-30-SV3 ½インチオス/オスフェイスシール 11.22/285.0 1.50/38.1 1.062/26.9
POU-30-ST3 ½インチ。突合せ溶接チューブスタブ 11.22/285.0 1.50/38.1 無し
POU-015

部品の説明 継手タイプ Aインチ/ mm Bインチ/ mm Cインチ/ mm
POU-015-SV1 ¼インチオス/オスフェイスシール 5.00/127.0 0.75/19.0 0.812/20.6
POU-015-ST1 ¼インチ。突合せ溶接チューブスタブ 5.00/127.0 0.75/19.0 無し
POU-015-SV3 ½インチオス/オスフェイスシール 5.00/127.0 0.75/19.0 0.875/22.2

*カスタム設計と継手が利用可能です。

流れ曲線

フィルターのフロー曲線については、カットシートまたは工場にお問い合わせください。

私たちのデザイン能力

  • ほぼすべてのシステム設計に対する流量/圧力降下曲線とろ過効率
  • ガスの互換性に関する考慮事項
  • カスタムフィルター媒体、圧力容器、継手材料(ユースポイントフィルター構成を含む)が利用可能

関連サービス

設計に関する専門知識– 最初から最後まで、お客様の設計パラメータに基づいたソリューションのカスタマイズを専門としています。お客様の用途に最適な使用箇所フィルターソリューションをご提供できるよう、ぜひご相談ください。

流体モデリング– 当社の幅広いアプリケーションは、使用地点フィルターの流量モデルの精度を高めるためのデータライブラリを構築しており、プロトタイプの構築前に初期性能と実現可能性の推定値を提供します。

広範なパートナーネットワーク– 材料がリストにない場合や、社内で対応できない場合でも、当社は新しい材料の調達、高度な製造能力、および使用時点フィルターの検証試験に関して、広範なパートナーネットワークを維持しています。

エンジニアリングサポート– 当社の専門エンジニアが、お客様の用途固有のニーズに合わせた最適な使用箇所フィルターソリューションの設計または選定を行います。

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