高純度多孔質セラミックス
モット社の高純度多孔質セラミックス（カスタム多孔質セラミックスおよびアルミナセラミックスを含む）は、特定の絶縁破壊強度、機械的強度、および流量要件を満たすために、調整可能な多孔度と細孔径を備えています。当社の高純度アルミナ（純度最大99.999%）セラミック部品は、汚染を低減し、優れた耐熱性、電気絶縁性、耐プラズマ性、および極限環境下での不活性性を提供します。
モット セラミック プラグを含む当社の高純度セラミック技術は、従来の印刷機能と 3D 印刷機能の両方を活用して、お客様独自のアプリケーション要件に合わせてカスタマイズできます。革新的なカスタマイズのリーダーとして、当社の従来の多孔質セラミック材料は、小さな多孔質セラミック チューブやブッシングからディスク、プレート、その他のフォーム ファクターまで、さまざまな形状に加工できます。複雑な形状の場合、当社の 3D 印刷プロセスにより、静電チャック (E チャック セラミック) 用プラグなど、半導体デバイス製造アプリケーションで必要な重要な機能の正確な精度と再現性が得られます。
クリーンルーム環境で高純度原料を用いて製造されるこれらの超高純度多孔質セラミックスは、比類のない清浄度を誇ります。高温安定性、優れた硬度、耐腐食性、最小限の熱膨張、高融点といったセラミックス本来の特性は、半導体をはじめとする高純度用途におけるフィルター、フロープラグ、絶縁体、基板、パッケージなどの部品に最適です。
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資料とデータシート
代表的なアプリケーション
- 静電チャック導管および供給システム
- 超高純度ガス拡散
- 高温液体ろ過
- 半導体ウェーハ基板
- CVD機器部品
- 電子部品と基板
- ガスフロープラグとポート
半導体製品カタログ
半導体メーカー専用に設計されたモッツの幅広い高純度フィルター、ディフューザー、フローリストリクターをご覧ください。
製品の仕様
| モットを選ぶ理由 |
» 高純度アプリケーション向けのフィルターおよびフロー制御製品の提供で30年以上の経験 » お客様の独自のニーズに合わせてカスタマイズする意欲 » 業界トップクラスの純度、誘電率、および耐摩耗性を備えた、特許取得済みの新しい多孔質および多孔質固体ハイブリッド製品 » 鉄壁の信頼性と世界クラスの品質で知られる米国を拠点とするサプライヤー » クリーンルーム環境における従来のセラミック製造セルと |
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| 技術仕様 |
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| ジオメトリ |
スリーブ付き多孔質プラグ 小さなチューブ/ブッシング プレート ディスク |
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| お問い合わせ！ |
カスタム材料（アルミナ、ジルコニア、窒化ケイ素、リン酸三カルシウム、ヒドロキシルアパタイト、酸化アルミニウムなど）と設計のニーズについてご相談ください。 次回の陶芸プロジェクトでもぜひご一緒に取り組みたいと思っています。 |
私たちのデザイン能力
- ほぼすべての設計での流量/圧力損失曲線とろ過効率
- ガスの互換性に関する考慮事項
- カスタムのろ材、圧力容器、フィッティング材料および構成が利用可能
多孔質セラミックスおよび高純度セラミックスソリューションの関連サービス
設計の専門知識–構想段階から完成まで、お客様の設計パラメータに基づき、高純度セラミックソリューションをカスタマイズいたします。当社の専任チームは、どんなに複雑な課題にも果敢に取り組み、品質に妥協することなく、最高の多孔質セラミックを製造することに尽力しています。
ラボ試験–設置前に多孔質セラミック部品のデータパッケージや実現可能性試験が必要な場合は、当社にお任せください。当社のラボセンターでは、包括的な特性評価と性能試験を実施し、お客様の部品が厳格な仕様を満たしていることを保証します。この厳密な試験により、製品の正確な性能と潜在的な限界が明らかになり、過負荷や過度のストレスによる高額な損傷を防ぐことができます。
エンジニアリングサポート–当社のプロジェクトエンジニアと連携し、お客様のプロセス要件を詳細に検討した上で、用途に最適な多孔質セラミック製または静電式チャックの設計をご提案いたします。セラミック製品には豊富なカスタマイズオプションをご用意しており、当社の専門エンジニアがお客様のニーズに完全に合致した製品をお届けできるよう尽力いたします。
トップティア製品
モットでは、何十年にもわたっていくつかの業界で実装されてきた高品質の製品を提供できることを誇りに思っています. 当社の高純度多孔質セラミックは、いくつかの分野で高く評価されており、お客様の機械が必要とする要求に確実に対応します。 また、当社の超高純度多孔質セラミックスの追加形状を開発することもできます。 モットの営業担当者は、私たちの能力がお客様のニーズに合っているかどうかを判断するために、喜んでお客様と一緒に保全を行います!
FAQ: 超高純度多孔質セラミックス
Q: モットの超高純度多孔質セラミックスの特徴は何ですか?
A: モットの超高純度多孔質セラミックは、特定の用途要件に合わせてカスタマイズできます。 これらは幅広い化学的適合性を備え、高温、高電圧、および/または高圧環境での耐久性を備えています。 これらのセラミックは、最高の純度基準を必要とする用途に特に適しています。
Q: モットの多孔質セラミックスはどのような形で製造できますか?
A: モットの多孔質セラミックは、高い形状柔軟性を備えています。小型チューブ、ブッシング、ディスク、スリーブ付きプラグなど、さまざまな形状に加工できるため、多様な用途のニーズに対応できます。モットは現在、必要な場所に正確な多孔性を持たせる複雑な形状を製造するために、セラミック部品の 3D プリントを開発しています。
Q: 高純度セラミック用途で多孔質アルミナを使用する主な利点は何ですか?
A: 多孔質アルミナ、つまり酸化アルミニウム Al2O3 は、優れた機械的強度、耐摩耗性、耐腐食性を備えています。 高温での高い安定性、優れた硬度、優れた耐食性、低い熱膨張係数、および高い融点により、多くの産業、特に半導体プロセスにおいて価値があります。
Q: モットの多孔質セラミックは静電チャック用途に使用できますか?
A: モットは、耐用年数を延ばし、熱管理性能を向上させるための静電チャックの重要なコンポーネントを提供できます。 たとえば、当社の先進的な多孔質セラミックプラグは、細心の注意を払って設計された細孔サイズを備えた高純度アルミナから作られており、信頼性の高い均一な冷却ガス流を可能にします。 固有の高電圧破壊強度により、アーク放電が発生することなく長期間動作できるため、半導体ツール全体の生産性が向上します。 通常、歩留りを制限する破片の原因となるアーク発生のリスクを軽減し、より均一な背面冷却と組み合わせることで、強化されたプロセス制御とより予測可能なメンテナンス スケジュールを通じてプロセス チャンバーのパフォーマンスを最大化できるようになります。
Q: 多孔質アルミナが高純度セラミック用途に好ましい材料である理由は何ですか?
A: 多孔質アルミナは、酸化アルミニウム (Al2O3) とも呼ばれ、腐食環境における優れた機械的強度、耐摩耗性、および弾力性で知られるセラミック材料です。高温安定性、硬度、耐腐食性、低熱膨張係数、高融点などの特性により、さまざまな産業で非常に貴重な材料となっています。モットの高純度多孔質アルミナセラミックは、最高 99.999% の純度のアルミナを使用して製造されており、重要な用途に最適な性能と純度を保証します。
