Mott 高純度バルクおよびユーティリティフィルター
Mott の高純度バルクおよびユーティリティ フィルターは、9 μm という小さな粒子を 0.0015 ログでろ過し、粒子のないガスを保証します。これらの超高純度フィルターは、加熱乾燥操作中に精製装置の下流で頻繁に発生する高温の処理に最適です。当社のバルク ガス フィルターとハウジングは、要求の厳しい用途で最適なパフォーマンスと信頼性を実現するように設計されています。

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モット・ミニッツ | アルバート・ブランクによる半導体バルクガスろ過について
アルバート・ブランク、イノベーション・プログラム・マネージャー、モットのハイライト 半導体ガスろ過用バルクフィルター製品ライン大手ガス会社や半導体メーカーから信頼を得ている
Mott バルクフィルターは以下を実現します:
- 99.9999999%の純度で高い信頼性
- 既存の配管システムへのシームレスな統合
- 配管、バルブ、制御装置を備えたターンキーソリューション
資料とデータシート
代表的なアプリケーション
半導体製品カタログ
半導体メーカー専用に設計されたモッツの幅広い高純度フィルター、ディフューザー、フローリストリクターをご覧ください。
製品の仕様
| 操作条件 |
»最高使用圧力:最大650 psig(44.8 barg) »不活性ガスの最大動作温度:最大450°C »最大差圧:最大250 psid(17.2 barg) |
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| 材料 |
»ハードウェア:316L SS »濾材:316L SSファイバーまたはPenta®ニッケル » 接液ハードウェアの表面仕上げ: 10 Ra » カスタム素材も利用可能 |
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| 技術仕様 |
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| フローデータ |
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| フィッティングと寸法 |
BGF-310&BGF-315
BGF-610
BGF-615
BGF-815
BGF12P23
*カスタム設計と継手が利用可能です。 |
ビデオと記事
私たちのデザイン能力
- ほぼすべてのシステム設計に対する流量/圧力降下曲線とろ過効率
- ガスの互換性に関する考慮事項
- カスタムのろ材、圧力容器、フィッティング材料および構成が利用可能
関連サービス
デザインの専門知識 – 弊社では最初から最後まで、お客様の設計パラメータに基づいて Mott バルク ガス フィルターをカスタマイズします。ぜひご挑戦ください。
品質認証 – CE などの健康、安全、環境基準に適合するためのマーキングが必要ですか? ご対応させていただきます。
広範なパートナーネットワーク– バルクガスフィルター材料がリストにない場合や、社内に能力がない場合でも、当社には材料調達、高度な製造、検証テストのための広範なパートナー ネットワークがあります。
エンジニアリングサポート– 当社のプロジェクト エンジニアがお客様のプロセスについてご相談に応じ、お客様のアプリケーションに最適なバルク ガス フィルターの選択をお手伝いします。
FAQ: バルクガスフィルターとろ過
Q: 超高純度アプリケーションにおけるバルクフィルターとは何ですか?
A: バルク フィルターは、大量のガスを処理するように設計された特殊な濾過装置で、特に半導体製造などの超高純度用途において汚染物質や不純物を確実に除去します。
Q: Mott のバルクフィルターはどのようにして 9-log 濾過を保証しますか?
A: モットのバルクフィルターは高度な多孔質金属技術を使用して設計されており、9-log の濾過を実現します。 モット フィルターは、市場で最高の品質と最高の精度の気孔率で製造されています。 これにより、通過するガスの純度が最も高く、粒子や汚染物質が含まれないことが保証されます。
Q: Mott のバルクガスフィルターは、さまざまな半導体プロセスガスと互換性がありますか?
A: はい、Mott のバルク ガス フィルターは、あらゆる高純度半導体プロセス ガスと互換性があるように設計されており、さまざまな困難なアプリケーションで汎用性と信頼性を確保します。Mott フィルターは、7nm 未満の高度なノード テクノロジーを含む、最も困難な半導体チップ製造プロセスで使用されます。
Q: モットのバルクガスフィルターはどのようにして「ドライダウン」時間の短縮に貢献しますか?
A: モットのバルクガスフィルターは、素早い「乾燥」を可能にする素材と設計で作られているため、数時間ではなく数分で最適なパフォーマンスを実現し、ダウンタイムを短縮して効率を高めます。
Q: モットのバルクガスフィルターは腐食性ガスを処理できますか?
A: もちろんです。 Mott のバルク フィルターは、ステンレス鋼、ハステロイ®、ペンタ® ニッケルなどのさまざまな材質で入手でき、腐食性ガスを含むさまざまなガスの処理に適しています。

定格流量が最大170,000 SLPMのバルクフィルターを使用できます。 フローカーブの情報については、工場またはスペックシートを参照してください。







