ファブ施設コンポーネント
Mott の半導体製造装置用高純度コンポーネントを使用して、半導体製造工場の安全性を向上させます。多孔質 Penta® ニッケル バルク フィルターや半導体製造ガス フィルターなどの Mott の高純度フィルターは、現代の半導体製造の厳しい要求を満たすように設計されています。
高純度ろ過ソリューション
製造施設の高圧酸素システムは、高い発火エネルギーに耐えられないテフロンなどの材料を使用すると、断熱圧縮着火の影響を受けやすくなります。その結果は悲惨なものになる可能性があります。Mott の高純度 Penta® ニッケル多孔質金属フィルターは、プラスチック、テフロン、ステンレス鋼よりも高い温度で動作し、潜在的な炎を消すヒートシンクとして機能します。当社のバルクガスろ過ソリューションは、このような危険性の高い環境における安全性と効率性を保証します。
ファブ向け高精度フロー制御
Mott の高精度フロー リストリクタは、ガス封じ込めシステム (バルブ マニホールド ボックス、ツール アイソレーション ボックス、ガス キャビネットなど) 内に設置され、大惨事の際にガスの流れを制限します。これらの Mott フロー リストリクタは、通気式封じ込めシステムで必要な空気置換流量も削減するため、通気管の配管が小さくなり、建設コストも削減されます。
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関連リソース
代表的なアプリケーション：
- オンサイトバルクガス
- バルブマニホールドボックス
- ツール分離ボックス
- ガスキャビネット
半導体製品カタログ
半導体メーカー専用に設計されたモッツの幅広い高純度フィルター、ディフューザー、フローリストリクターをご覧ください。
高純度ガスフローリストリクター
一貫したフロー制御と目詰まりに対する耐性を実現するための低コストのオプションをお探しの場合は、高純度の多孔質金属フローリストリクターをご検討ください。
ラボおよびエンジニアリングサービス
ラピッドプロトタイピング、フィルターの実現可能性、メディアの特性評価など、当社のあらゆるサービスをご覧ください。
ファブとは何ですか?
ファブは「製造工場」の略で、集積回路 (IC) などの半導体デバイスの製造に特化した施設です。これらの工場では、シリコン ウェハーにドーピング、イオン注入、エッチングなどの複雑なプロセスを施してチップに変換します。これらのプロセスには高い精度が求められるため、ガスと化学物質の最高純度を維持することが不可欠です。モット コーポレーションは、ファブの高純度基準を満たす高度な半導体ろ過およびガス供給ソリューションを提供することで、極めて重要な役割を果たしています。
FAQ: 製造施設のコンポーネント
Q: 製造施設の安全性を向上させるために、Mott はどのようなコンポーネントを提供していますか?
A: Mott は、製造施設の安全性と効率を向上させるために、高純度の多孔質 Penta® ニッケル バルク フィルターと精密流量制限装置を提供しています。
Q: Mott's Penta® ニッケル多孔質金属フィルターが製造施設に不可欠なのはなぜですか?
A: Mott's Penta® ニッケル多孔質金属フィルターは、プラスチック、テフロン、ステンレス鋼などの素材よりも高温で動作します。 これらはヒートシンクとして機能し、潜在的な炎を消し、断熱圧縮着火のリスクが存在する工場施設の高圧酸素システムにとって特に重要です。
Q: Mott プレシジョン フロー リストリクターは、製造施設のガス封じ込めシステムにどのようなメリットをもたらしますか?
A: モットの精密フローリストリクターは、バルブマニホールドボックス、ツールアイソレーションボックス、ガスキャビネットなどのガス封じ込めシステム内に設置すると、大惨事の際にガスの流れを制限します。また、通気口付き封じ込めシステムで必要な空気置換流量も削減されるため、通気管が小さくなり、結果として建設コストが削減されます。多孔質金属は、最も厳しいプロセス条件でも一貫した層流を提供するため、フロー制御に最適な媒体です。フローオリフィスと比較すると、多孔質金属は、ガスが 1 つのフローチャネルではなく何千もの小さな孔を通過するため、詰まりや乱流の問題が発生することはありません。
Q: モットのソリューションは製造施設のコスト削減にどのように貢献しますか?
A: Mott のソリューションは、当社の製品ポートフォリオ全体にわたって、お客様のパフォーマンスを向上させ、所有コストを削減するという具体的な目標を持って設計されています。
– リストリクター: ベント封じ込めシステムで必要な空気流量を減らすことで、Mott の高精度フロー リストリクターはベント配管を小型化でき、製造施設の建設コストを削減します。当社の多孔質金属リストリクターは、ガス ラインのサージによる下流プロセスの汚染を防ぎ、コストとダウンタイムを削減します。
– 有機物を含まない拡散器: 真空チャンバー内で使用される拡散器は、処理中のウェーハのすぐ近くに配置されます。ウェーハに近接しているため、最適な収率を確保し、ツールのメンテナンスによるダウンタイムを防ぐためには、純度が重要です。Mott の有機物を含まないソリューションは、ウェーハ汚染の可能性を排除し、収率を高め、ダウンタイムを短縮します。
– 焼結繊維フィルター: Mott の焼結繊維フィルターは、使用時点およびバルク形式を含め、市場で最も低い圧力降下をお客様に提供します。これは焼結粉末フィルターの 6 倍低いものです。部品間の差圧変動が低いため、半導体工場でのシステム制御を厳密に行うことができます。Mott の焼結繊維フィルターは、PTFE フィルターと比較して乾燥時間が 3 ～ 5 倍短いため、お客様のダウンタイムが短縮されます。さらに、テフロンベースのフィルター ソリューションと比較して火災の危険性がありません。
