GasShield® 사용 시점 필터

최대의 가스 여과 효율성, 신뢰성 및 업계 최고의 흐름 일관성을 위해 GasShield® 사용 지점 필터는 초고순도(UHP) 가스 전달 응용 분야에 이상적입니다. 이러한 사용처 필터는 다양한 재료로 제공되며 대부분의 고순도 전자 등급 공정 가스와 호환되어 최적의 성능을 보장합니다.

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제품 사양

작동 조건

»최대 작동 압력 : 최대 3750psig (258barg)

»불활성 가스의 최대 작동 온도 : 460 ° C

»최대 차압 : 1000 psid (68.9 bar)

소스

» 하드웨어: 스테인리스강, 스테인리스강 VAR 또는 합금 22*

» 필터 매체: 스테인리스강, 니켈, 합금 22* 또는 스테인리스강 섬유

» 습식 하드웨어 표면 마감: 스테인리스 스틸 또는 Hastelloy® 하드웨어의 경우 5 Ra

»맞춤형 옵션도 사용 가능

*Alloy 22 또는 UNS N06022는 일반적으로 Hastelloy® C-22®라고 하는 니켈-크롬-몰리브덴 초합금입니다.

기술 사양
입자 제거 크기 : 0.0015 μm 이상
필터 효율 (로그 감소 값) : 9 LRV (99.9999999 % 입자 감소).

SEMI F0.08-38 테스트 방법에 따라 0699 μm의 최대 침투 입자 크기에서 확인

헬륨 누출 등급 : 1 x 10-9 atm cc / 초
수분 기여 : SEMI F10 테스트 방법에 따라 저 유량 주변 퍼지에서 1 시간 후 27ppb 미만
총 탄화수소 : SEMASPEC 90120396B 테스트 방법에 따라 감지 가능한 한계 미만
입자 흘리기 : SEMI F1-43 테스트 방법에 따라 배경 위의 입자 기여도 없음 (<0308 입자 / ft³)
피팅 및 치수
POU-03

부품 설명 피팅 타입 A / mm B / mm C에서 / mm
POU-3-SV1

POU-3-HV1

POU-3-HSV1

POU-3-NSV1

¼ 인치 수 / 수 페이스 씰 3.31/84.0 1.50/38.1 1.062/26.9
POU-3-SV3

POU-3-HV3

POU-3-HSV3

½ 인치 수 / 수 페이스 씰 3.31/84.0 1.50/38.1 1.062/26.9
POU-05

부품 설명 피팅 타입 A / mm B / mm C에서 / mm
POU-05-SV1

POU-05-HV1

POU-05-NSV1

¼ 인치 수 / 수 페이스 씰 3.31/84.0 0.75/19.0 0.812/20.6
POU-05-ST1

POU-05-NST1

¼ 인치 맞대기 용접 튜브 스터브 3.31/84.0 0.75/19.0 N/A
POU-05-FSV1 ¼ 인치 수 / 수 페이스 씰 3.31/84.0 0.75/19.0 0.625/15.9
POU-10

부품 설명 피팅 타입 A / mm B / mm C에서 / mm
POU-10-SV1

POU-10-HV1

POU-10-HSV1

¼ 인치 수 / 수 페이스 씰 5.00/127.0 1.50/38.1 1.062/26.9
POU-10-SV3

POU-10-HV3

POU-10-HSV3

½ 인치 수 / 수 페이스 씰 5.00/127.0 1.50/38.1 1.062/26.9
POU-10-ST1 ¼ 인치 맞대기 용접 튜브 스터브 5.00/127.0 1.50/38.1 N/A
POU-10-ST3 ½ 인치 맞대기 용접 튜브 스터브 5.00/127.0 1.50/38.1 N/A
POU-30

부품 설명 피팅 타입 A / mm B / mm C에서 / mm
POU-30-SV3 ½ 인치 수 / 수 페이스 씰 11.22/285.0 1.50/38.1 1.062/26.9
POU-30-ST3 ½ 인치 맞대기 용접 튜브 스터브 11.22/285.0 1.50/38.1 N/A
POU-015

부품 설명 피팅 타입 A / mm B / mm C에서 / mm
POU-015-SV1 ¼ 인치 수 / 수 페이스 씰 5.00/127.0 0.75/19.0 0.812/20.6
POU-015-ST1 ¼ 인치 맞대기 용접 튜브 스터브 5.00/127.0 0.75/19.0 N/A
POU-015-SV3 ½ 인치 수 / 수 페이스 씰 5.00/127.0 0.75/19.0 0.875/22.2

* 사용자 정의 디자인 및 피팅 가능.

흐름 곡선

필터 흐름 곡선은 컷 시트 또는 공장에 문의하십시오.

우리의 디자인 기능

  • 거의 모든 시스템 설계를위한 유량 / 압력 강하 곡선 및 여과 효율
  • 가스 호환성 고려 사항
  • 사용 지점 필터 구성을 포함한 맞춤형 필터 매체, 압력 용기 및 피팅 재료 이용 가능

관련 서비스

설계 전문성 – 당사는 처음부터 끝까지 고객의 설계 매개변수에 기반한 맞춤형 솔루션을 제공하는 데 특화되어 있습니다 . 귀사의 용도에 맞는 최적의 필터 솔루션을 제공해 드리도록 최선을 다하겠습니다.

유체 모델링 – 당사의 광범위한 응용 분야를 통해 축적된 데이터 라이브러리를 활용하여 현장 사용 필터의 유동 모델 정확도를 높이고, 프로토타입 제작 전에 초기 성능 및 타당성 예측을 제공합니다.

광범위한 파트너 네트워크 – 목록에 없는 재료이거나 사내에 없는 역량이 필요한 경우, 당사는 신규 재료 조달, 첨단 제조 역량 및 현장 사용 필터 검증 테스트를 위한 광범위한 파트너 네트워크를 보유하고 있습니다.

엔지니어링 지원 – 당사의 전문 엔지니어들이 귀사의 특정 용도에 맞는 최적의 현장 필터 솔루션을 설계하거나 선정해 드립니다.

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