고순도 다공성 세라믹

 

맞춤형 다공성 세라믹 및 알루미나 세라믹을 포함한 Mott의 고순도 다공성 세라믹은 특정 유전 파괴, 기계적 강도 및 흐름 요구 사항을 충족하기 위해 조정 가능한 다공성과 기공 크기로 설계되었습니다.  오염 감소를 위한 당사의 고순도 알루미나(순도 최대 99.999%) 세라믹 부품은 극한 환경에서 탁월한 내열성, 전기 절연성, 플라즈마 저항성 및 불활성을 제공합니다.

Mott 세라믹 플러그를 포함한 당사의 고순도 세라믹 기술은 기존 및 3D 프린팅 기능을 모두 활용하여 고유한 응용 요구 사항을 충족하도록 맞춤화할 수 있습니다. 혁신적인 맞춤화 분야의 선두주자인 당사의 기존 다공성 세라믹 재료는 작은 다공성 세라믹 튜브 또는 부싱부터 디스크, 플레이트 또는 기타 폼 팩터에 이르기까지 다양한 형태로 제작될 수 있습니다. 복잡한 형상의 경우 당사의 3D 프린트 프로세스를 통해 정전 척용 플러그(E-척 세라믹)와 같은 반도체 장치 제조 응용 분야에 필요한 중요한 기능에 대한 정밀한 정확성과 반복성이 가능합니다.

초고순도 다공성 세라믹 제조 순수한 원료를 사용한 클린룸 환경에서 비교할 수 없는 청결함을 보장합니다. 고온 안정성, 뛰어난 경도, 내식성, 최소 열팽창, 높은 융점 등 세라믹의 고유한 특성으로 인해 세라믹은 필터, 플로우 플러그, 절연체, 기판, 반도체 및 기타 패키징과 같은 부품에 이상적입니다. 고순도 애플리케이션.

 

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문헌 및 데이터 시트

전형적인 신청

  • 정전기 척 도관 및 공급 시스템
  • 초고순도 가스 확산
  • 고온 액체 여과
  • 반도체 웨이퍼 기판
  • CVD 장비 부품
  • 전자 부품 및 기판
  • 가스 흐름 플러그 및 포트

반도체 제품 카탈로그

반도체 제조업체 전용으로 설계된 Mott의 광범위한 고순도 필터, 디퓨저 및 유량 제한기를 살펴보십시오.

제품 사양

모트를 선택하는 이유는 무엇입니까?

» 고순도 응용 분야용 필터 및 흐름 제어 제품을 제공해 온 30년 이상의 경험

» 귀하의 고유한 요구 사항을 충족하기 위해 맞춤화하려는 의지

» 업계 최고의 순도와 유전체를 갖춘 새롭고 특허받은 다공성 및 다공성-고체 하이브리드 제품
힘, 그리고 성실함

» 철저한 신뢰성과 세계적 수준의 품질로 유명한 미국 기반 공급업체

» 기존 및 세라믹 모두를 갖춘 클린룸 환경의 전용 세라믹 제조 셀
3D 프린팅 기능

기술 사양
유량 고객 요구에 맞춘
재료 순도 최대 99.999%(5N) 알루미나
다공성 10-65%
기공 크기 0.1 – 60미크론
기하학

슬리브형 다공성 플러그

소형 튜브/부싱

접시

디스크

연락하세요

맞춤형 재료(알루미나, 지르코니아, 질화규소, 인산삼칼슘, 수산화인회석, 산화알루미늄 등)와 설계 요구 사항에 대해 문의하세요.

우리는 귀하의 다음 세라믹 프로젝트에서 귀하와 협력하고 싶습니다.

우리의 디자인 기능

  • 거의 모든 설계에 대한 유량/압력 강하 곡선 및 여과 효율
  • 가스 호환성 고려 사항
  • 맞춤형 필터 매체, 압력 용기 및 피팅 재료 및 구성 가능

다공성 세라믹 및 고순도 세라믹 솔루션 관련 서비스

디자인 전문 지식 - 개념화부터 완성까지 당사는 귀하의 설계 매개변수를 기반으로 고순도 세라믹 솔루션을 맞춤화합니다. 도전을 수용하는 당사의 헌신적인 팀은 작업의 복잡성에 관계없이 품질 저하 없이 최고의 다공성 세라믹을 제작하기 위해 최선을 다하고 있습니다.

실험실 테스트 - 설치 전에 다공성 세라믹 부품에 대한 데이터 패키지 또는 타당성 테스트가 필요한 경우 당사가 도와드리겠습니다. 당사의 연구실 센터에서는 포괄적인 특성화 및 성능 테스트를 수행하여 부품이 엄격한 사양을 충족하는지 확인합니다. 이 엄격한 테스트를 통해 제품의 정확한 기능과 잠재적인 한계를 밝혀내고 과도한 노력이나 과도한 스트레스로 인한 비용이 많이 드는 손상을 방지합니다.

엔지니어링 지원 - 당사의 프로젝트 엔지니어와 협력하여 귀하의 공정 요구 사항을 심층적으로 조사하고 귀하의 응용 분야에 맞는 올바른 다공성 세라믹 또는 정전 척 설계를 선택하십시오. 세라믹 제품에 대한 다양한 맞춤 옵션을 통해 당사의 전문 엔지니어는 귀하가 받는 제품이 귀하의 특정 요구 사항에 완벽하게 부합되도록 최선을 다하고 있습니다.

상위 계층 제품

Mott는 수십 년 동안 여러 산업 분야에서 구현된 고품질 제품을 공급하게 된 것을 자랑스럽게 생각합니다. 당사의 고순도 다공성 세라믹은 여러 영역에서 높은 평가를 받아 기계가 요구하는 요구 사항을 견딜 수 있도록 보장합니다. 또한 초고순도 다공성 세라믹의 추가 형상을 개발할 수 있습니다. Mott 영업 담당자는 당사의 기능이 귀하의 요구 사항과 일치하는지 확인하기 위해 귀하와 함께 보존하는 것을 기쁘게 생각합니다!

FAQ: 초고순도 다공성 세라믹

Q: 모트의 초고순도 다공성 세라믹의 독특한 특징은 무엇입니까?

A: Mott의 초고순도 다공성 세라믹은 특정 응용 분야 요구 사항에 맞게 맞춤 설정할 수 있습니다. 이 제품은 광범위한 화학적 호환성을 제공하며 고온, 고전압 및/또는 고압 환경에서 내구성이 있습니다. 이 세라믹은 가장 높은 순도 표준을 요구하는 응용 분야에 특히 적합합니다.

Q: Mott의 다공성 세라믹은 어떤 형태로 제조될 수 있습니까?

A: Mott의 다공성 세라믹은 높은 기하학적 유연성을 나타냅니다. 다양한 응용 분야 요구 사항에 맞게 작은 튜브, 부싱, 디스크 또는 슬리브 플러그와 같은 다양한 모양으로 제작할 수 있습니다. Mott는 현재 필요한 곳에 정확한 다공성을 포함하기 위해 복잡한 형상을 제작하기 위해 세라믹 부품의 3D 프린팅을 개발하고 있습니다.

Q: 고순도 세라믹 응용 분야에 다공성 알루미나를 사용하면 어떤 주요 이점이 있습니까?

A: 다공성 알루미나 또는 산화알루미늄 Al2O3는 뛰어난 기계적 강도, 내마모성 및 부식성 환경에 대한 저항성을 제공합니다. 고온에서의 높은 안정성, 뛰어난 경도, 우수한 내식성, 낮은 열팽창 계수 및 높은 융점 덕분에 많은 산업, 특히 반도체 공정에서 가치가 높습니다.

Q: Mott의 다공성 세라믹을 정전기 척 응용 분야에 사용할 수 있습니까?

A: Mott는 정전 척의 중요한 구성 요소를 제공하여 유효 수명을 연장하고 열 관리 성능을 향상시킬 수 있습니다. 예를 들어, 당사의 고급 다공성 세라믹 플러그는 세심하게 설계된 기공 크기를 갖춘 고순도 알루미나로 제작되어 안정적이고 균일한 냉각 가스 흐름을 가능하게 합니다. 고유의 높은 전압 항복 강도를 통해 아크 발생 없이 장기간 작동할 수 있으므로 전체 반도체 도구의 생산성이 향상됩니다. 일반적으로 수율을 제한하는 잔해를 유발하는 아크 발생 위험이 감소하고 보다 균일한 후면 냉각이 결합되어 이제 향상된 공정 제어와 보다 예측 가능한 유지 관리 일정을 통해 공정 챔버의 성능을 최대화할 수 있습니다.

Q: 다공성 알루미나가 고순도 세라믹 응용 분야에 선호되는 재료인 이유는 무엇입니까?

A: 산화알루미늄(Al2O3)으로도 알려진 다공성 알루미나는 탁월한 기계적 강도, 내마모성 및 부식 환경에서의 복원력으로 유명한 세라믹 소재입니다. 고온 안정성, 경도, 내식성, 낮은 열팽창 계수 및 높은 융점과 같은 특성은 다양한 산업 분야에서 매우 중요합니다. Mott의 고순도 다공성 알루미나 세라믹은 최대 99.999%의 순수 알루미나로 제조되어 중요한 응용 분야에 최적의 성능과 순도를 보장합니다.