モットコーポレーション、ガスシールドハイフローサンドイッチフィルターを発表
Mott Corporation は、次世代半導体製造の厳しい要求を満たすように設計された GasShield HiFlow サンドイッチ フィルターを発表しました。 業界がムーアの法則を超えて進歩するにつれ、より低い抵抗率や強化されたエレクトロマイグレーション耐性など、従来のタングステンよりも優れた特性を持つモリブデン (Mo) などの材料が不可欠なものになりつつあります。
モリブデンの統合には原子層堆積法（ALD）が必要であり、プロセス安定性を確保するために特殊なろ過ソリューションが求められます。Mott社のGasShield HiFlowサンドイッチフィルターは、以下の特長によりこのニーズに対応します。
- 高い粒子保持力: SEMI F38-0720 に従って 1.5 nm で 9 LRV 以上。
- オールメタル構造: 脱落やガス放出を防ぎます。
- 優れた耐食性: ハロゲン化前駆体用の合金 C-22 が利用可能です。
- 高温安定性: 最高460℃。
- 優れた流量効率従来のディスク フィルターに比べて圧力降下が 25～35% 低減します。
- 超高純度: 水分レベルは10ppb未満、炭化水素は検出限界以下です。
- コンパクト設計寸法は1.12インチ x 1.12インチ x 0.49インチで、狭いツールレイアウトや高温環境への統合を容易にします。
さらに、このフィルターは安定した流量（部品間のばらつきは2%以下）を保証し、標準的な使用条件下で5年間の信頼性保証が付いています。プラグアンドプレイ方式で簡単に取り付けられ、CシールとカスタムWシールの両方のオプションに対応しています。
モット社の半導体技術専門家であるポール・ホフェマン氏は、「 GasShield HiFlowサンドイッチフィルターは、ムーアの法則を超える製造を実現する上で不可欠な要素であり、ALDベースのモリブデン蒸着において、より高い歩留まり、よりクリーンなプロセス、そしてより信頼性の高い性能を保証します」と述べています。
