Mott Corporation, GasShield HiFlow 샌드위치 필터 출시
Mott Corporation은 차세대 반도체 제조의 엄격한 요구 사항을 충족하도록 설계된 GasShield HiFlow 샌드위치 필터를 출시했습니다. 산업이 무어의 법칙을 넘어 발전함에 따라, 몰리브덴(Mo)과 같은 소재는 기존 텅스텐에 비해 저항률이 낮고 전자 이동 저항이 향상된 등 우수한 특성을 가지고 있어 필수적인 소재가 되고 있습니다.
몰리브덴을 통합하려면 원자층 증착(ALD)이 필요하며, 이를 위해서는 공정 안정성을 보장하기 위한 특수 여과 솔루션이 필요합니다. Mott의 GasShield HiFlow 샌드위치 필터는 다음을 제공하여 이러한 요구 사항을 해결합니다.
- 높은 입자 보유력: SEMI F38-0720에 따르면 1.5nm에서 9 LRV 이상.
- 모든 금속 구조: 탈락과 가스 방출을 제거합니다.
- 탁월한 내식성: 할로겐 전구체의 경우 Alloy C-22와 함께 사용 가능합니다.
- 고온 안정성: 최대 460°C.
- 뛰어난 흐름 효율성: 기존 디스크 필터에 비해 압력 강하가 25~35% 낮습니다.
- 초고순도: 수분 함량이 10 ppb 미만이고 탄화수소가 검출 한계 미만입니다.
- 컴팩트 한 디자인: 1.12" x 1.12" x 0.49" 크기로 좁은 도구 레이아웃과 고온 환경에 쉽게 통합할 수 있습니다.
또한, 이 필터는 안정적인 유량(부품 간 변동률 ≤2%)을 보장하며 표준 사용 조건에서 5년 신뢰성 보증이 제공됩니다. 플러그 앤 플레이 설치는 C-씰과 맞춤형 W-씰 옵션을 모두 지원합니다.
폴 호페만Mott의 반도체 기술 전문가는 "GasShield HiFlow 샌드위치 필터는 ALD 기반 몰리브덴 증착에서 더 높은 수율, 더 깨끗한 공정 및 보다 안정적인 성능을 보장하는 More-than-Moore 제조의 중요한 지원 요소입니다.. "
