반도체 도구의 고급 열 관리: 폐열 회수 및 미러 변형 개선

카르틱 비스 와나탄 , 모트 코퍼레이션 부사장 겸 총괄 매니저

데이터 센터와 인공지능에 대한 수요 증가는 놀라운 새로운 반도체 도구 혁신을 주도하고 있습니다. 이러한 새로운 반도체 도구는 고급 처리 노드를 달성하기 위해 엄청난 에너지를 필요로 하며, 이 에너지의 대부분은 오늘날 효과적으로 관리되지 않습니다. 반도체 도구의 비효율적인 열 관리에는 세 가지 중요한 영향이 있으며, Mott의 고급 솔루션은 이를 해결하도록 설계되었습니다.

리소그래피 거울 변형
흡수된 빛은 리소그래피 거울에서 열적, 구조적 변화를 일으켜 변형을 초래합니다. 이는 이미지 품질과 정렬 정확도에 영향을 미쳐 상당한 수율 손실을 초래하며, 이는 반도체 팹에 큰 비용 문제입니다.

에너지 사용량 증가
새로운 도구의 전력 소비는 계속 증가하고 있습니다. 미래의 팹은 많은 국가가 1년에 소비하는 것보다 더 많은 전력을 소비할 것입니다! 반도체 팹 소유주는 에너지 집약적 산업에서 경쟁력을 유지하면서 생산을 최적화하기 위해 노력하면서 증가하는 에너지 비용에 직면합니다.

환경 적 영향
도구 전력 소비가 증가함에 따라 이러한 도구를 작동하는 데 소비되는 에너지의 상당 부분이 환경으로 유실되고 다른 프로세스 애플리케이션에 전력을 공급하기 위해 회수되지 않습니다. 이는 오늘날 단일 재생 에너지원으로는 고급 FAB에 전력을 공급할 수 없기 때문에 환경에 큰 영향을 미칩니다.

Mott의 고급 열 관리 솔루션

이러한 과제를 완화하기 위해 Mott는 엄격한 테스트와 업계 리더와의 협업을 통해 최첨단 열 관리 기술을 개척했습니다. 이러한 고급 솔루션에는 다음이 포함됩니다.

• 2상 냉각 첨가제 구성 요소: 열원을 관리하기 위해 정확한 온도 제어를 제공합니다.
• 고표면 대류 스택 설계: 중요 구성 요소의 방열을 향상시킵니다.
• 선택적 다공성 열전달 설계: 다중 밀도 다공성 금속 구조와 마이크로 냉각 채널 플레이트를 도구 구조에 내장하여 효율적인 에너지 회수를 실현합니다.

이러한 혁신적인 솔루션은 거울의 변형을 방지할 뿐만 아니라 폐열을 다른 응용 분야에 재사용하여 에너지 비용과 탄소 발자국을 줄여줍니다.

오늘 조치를 취하십시오
Mott의 고급 열 관리 솔루션이 어떻게 비용을 절감하고, 성능을 향상시키고, 지속 가능한 미래를 구축하는 데 도움이 될 수 있는지 확인해 보세요. 당사에 문의해 주세요. 오늘 자세히 알아보십시오.