GasShield®-Filter für die Oberflächenmontage
Mott GasShield® Oberflächenmontagefilter bieten erstklassige Filtrationsleistung mit einer Porengröße von 0.0015 μm in integrierten Gassystemen, die in Halbleiter-OEM-Werkzeugen eingesetzt werden. Diese GasShield® Oberflächenmontagefilter sind für die nahtlose Integration in 1.125"- und 1.5"-Vierpunkt-Oberflächenmontage-Gasverteilungssysteme mit C- und W-Dichtung konzipiert. Sie sind mit einer Vielzahl von Edelgasen sowie den meisten Spezialgasen kompatibel.
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Literatur & Datenblätter
Typische Anwendungen
Zur Verwendung mit W-Dichtung und C-Dichtung, modularen Gasversorgungssystemen mit Oberflächenmontage von 1.125 Zoll und 1.5 Zoll.
Mott Semiconductor Produktkatalog
Entdecken Sie Motts breites Sortiment an hochreinen Filtern, Diffusoren und Durchflussbegrenzern, die exklusiv für Halbleiterhersteller entwickelt wurden.
Produktspezifikation
| Betriebsbedingungen |
»Maximaler Betriebsdruck: 1800 psig (124.1 Barg) »Maximale Betriebstemperatur für Inertgas: 460 ° C. »Maximaler Differenzdruck: 500 bar (34.4 psid) |
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| Materialien |
» Hardware: 316LSS oder Alloy 22* » Filtermedium: Penta® Nickel, 316L SS oder Alloy 22* » Oberflächenbeschaffenheit der benetzten Hardware: 5 Ra » Auch kundenspezifische Materialien erhältlich *Alloy 22 oder UNS N06022 ist eine Nickel-Chrom-Molybdän-Superlegierung, die allgemein als Hastelloy® C-22® bezeichnet wird |
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| Spezifikationen |
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| Flussdaten |
Weitere Durchflusskurven verfügbar, siehe Fabrik- oder Datenblätter. |
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| Armaturen & Abmessungen |
GSMM-75 C-Dichtung für 1.125 ”
GSMM-60 C-Dichtung für 1.500 ”
GSMM-55 W-Dichtung für 1.125 ”
GSMM-50 W-Dichtung für 1.500 ”
* Sonderanfertigungen und Beschläge erhältlich. |
Videos & Artikel
Unsere Designfähigkeiten
- Durchfluss-/Druckabfallkurven und Filtrationseffizienz für nahezu jedes Systemdesign, einschließlich solcher, die einen oberflächenmontierten Filter für Halbleiter-OEM-Werkzeuge erfordern.
- Überlegungen zur Gaskompatibilität
- Kundenspezifische Filtermedien, Druckbehälter sowie Anschlussmaterial und Konfigurationen erhältlich
Relevante Dienstleistungen
Designkompetenz – Von Anfang bis Ende entwickeln wir maßgeschneiderte Lösungen basierend auf Ihren Designparametern, egal ob Sie einen Oberflächenmontagefilter für Halbleiter-OEM-Werkzeuge oder andere Spezialanwendungen benötigen – fordern Sie uns heraus!
Strömungsmodellierung – Unsere umfangreichen Anwendungen haben eine Datenbibliothek aufgebaut, um die Genauigkeit unserer Strömungsmodelle zu erhöhen und so die optimale Leistung von Oberflächenfiltern und anderen Komponenten zu gewährleisten. Wir liefern erste Leistungs- und Machbarkeitsabschätzungen vor dem Bau von Prototypen.
Umfangreiches Partnernetzwerk – Falls ein Material nicht aufgeführt ist oder eine bestimmte Fähigkeit nicht im eigenen Haus vorhanden ist, unterhalten wir ein umfangreiches Netzwerk von Partnern für die Beschaffung neuer Materialien, fortschrittliche Fertigungskapazitäten und Validierungstests, alles zur Unterstützung der Entwicklung Ihres Oberflächenmontagefilters.
Technischer Support – Nutzen Sie unsere erfahrenen Ingenieure, um den passenden Oberflächenmontagefilter für Ihre spezifische Anwendung zu entwickeln und so die bestmögliche Filtrationsleistung zu gewährleisten.
Oberflächenmontierte Filter: Verbesserung der Halbleiterfertigung
Oberflächenmontierte Filter sind spezielle Filterkomponenten, die in integrierten Gassystemen in Halbleiter-OEM-Werkzeugen verwendet werden. Sie spielen eine entscheidende Rolle bei der Gewährleistung der Reinheit und Zuverlässigkeit von Gasen, die in Halbleiterherstellungsprozessen verwendet werden. Diese Filter werden strategisch in Gasverteilungssystemen platziert und entfernen effizient Verunreinigungen und Partikel mit einer Größe von bis zu 0.0015 μm. So wird sichergestellt, dass die Gase strengen Qualitätsstandards entsprechen. Oberflächenmontierte Filter sind für den Schutz empfindlicher Halbleitergeräte, die Vermeidung verunreinigungsbedingter Defekte und die Sicherstellung einer gleichbleibenden Leistung unerlässlich.
Mott zeichnet sich aufgrund seines Engagements für herausragende Filtrationsqualität als führender Anbieter der besten oberflächenmontierten Filter aus. Die Filter von Mott sind so konstruiert, dass sie maximale Filtrationseffizienz, branchenführende Durchflusskonsistenz und unübertroffene Zuverlässigkeit bieten. Ihr Fachwissen in der kundenspezifischen Anpassung von oberflächenmontierten Filtern auf der Grundlage spezifischer Designparameter stellt sicher, dass jede Lösung auf die individuellen Anforderungen verschiedener Halbleiteranwendungen zugeschnitten ist. Darüber hinaus stellen das umfangreiche Partnernetzwerk und die technische Unterstützung von Mott sicher, dass Kunden hochwertige oberflächenmontierte Filter erhalten, die eine optimale Leistung erbringen und zum Gesamterfolg von Halbleiterfertigungsprozessen beitragen.
FAQs: Oberflächenmontierte Filter
F: Was ist ein oberflächenmontierter Filter und wo wird er typischerweise in der Halbleiterindustrie eingesetzt?
A: Ein oberflächenmontierter Filter ist eine spezielle Filterkomponente, die in der Halbleiterindustrie verwendet wird, um eine ultrafeine Filterung für Gasverteilungssysteme in Halbleiterfertigungsanlagen bereitzustellen. Es wird typischerweise in Gassystemen eingesetzt, um die Reinheit und Sauberkeit von Gasen sicherzustellen, die in verschiedenen Halbleiterherstellungsprozessen verwendet werden, und bietet den Vorteil, dass es weniger Platz auf Gastafeln beansprucht.
F: Welche Partikelgröße entfernen die oberflächenmontierten GasShield®-Filter von Mott aus Gasen?
A: Die oberflächenmontierten GasShield®-Filter von Mott bieten eine branchenführende Filtrationseffizienz und entfernen Partikel mit einer Größe von nur 0.0015 μm aus Gasen, was sie ideal für kritische Halbleiteranwendungen macht, bei denen die Partikelkontrolle unerlässlich ist.
F: Sind die oberflächenmontierten Filter von Mott mit allen Arten von Gasen kompatibel, die in der Halbleiterfertigung verwendet werden?
A: Ja, die oberflächenmontierten GasShield®-Filter von Mott sind mit einer Vielzahl von Gasen kompatibel, einschließlich Inertgasen und den meisten Spezialgasen, die üblicherweise in Halbleiterherstellungsprozessen verwendet werden.
F: Wie kann Mott bei der kundenspezifischen Anpassung von oberflächenmontierten Filtern für bestimmte Anwendungen in der Halbleiterfertigung behilflich sein?
A: Mott bietet Design-Know-how und technische Unterstützung, um oberflächenmontierte Filter auf der Grundlage spezifischer Designparameter anzupassen und sicherzustellen, dass jede Lösung auf die individuellen Anforderungen verschiedener Halbleiterfertigungsanwendungen zugeschnitten ist.
