Hochreine poröse Keramik

 

Die hochreinen porösen Keramiken von Mott, einschließlich kundenspezifischer poröser Keramiken und Aluminiumoxidkeramiken, werden mit anpassbarer Porosität und Porengröße entwickelt, um spezifische Anforderungen an dielektrischen Durchschlag, mechanische Festigkeit und Durchfluss zu erfüllen.  Unsere Keramikkomponenten aus hochreinem Aluminiumoxid (bis zu 99.999 % rein) zur Reduzierung der Verunreinigung bieten hervorragende Hitzebeständigkeit, elektrische Isolierung, Plasmabeständigkeit und Inertheit in extremen Umgebungen.

Unsere hochreine Keramiktechnologie, einschließlich Mott-Keramikstecker, kann an Ihre individuellen Anwendungsanforderungen angepasst werden, wobei sowohl konventionelle als auch 3D-Druckfunktionen genutzt werden. Als führender Anbieter innovativer Anpassung können unsere konventionellen porösen Keramikmaterialien in verschiedene Formen gebracht werden, von kleinen porösen Keramikröhren oder -buchsen bis hin zu Scheiben, Platten oder anderen Formfaktoren. Bei komplexen Geometrien ermöglicht unser 3D-Druckverfahren präzise Genauigkeit und Wiederholbarkeit für kritische Merkmale, die bei Anwendungen zur Herstellung von Halbleiterbauelementen erforderlich sind, wie z. B. Stecker für elektrostatische Spannfutter (E-Chuck-Keramik).

Herstellung dieser ultrahochreinen porösen Keramik in einer Reinraumumgebung mit reinen Rohstoffen sorgt für beispiellose Sauberkeit. Die inhärenten Eigenschaften von Keramik wie Hochtemperaturstabilität, beeindruckende Härte, Korrosionsbeständigkeit, minimale Wärmeausdehnung und ein hoher Schmelzpunkt machen sie ideal für Komponenten wie Filter, Durchflussstopfen, Isolatoren, Substrate und Verpackungen in Halbleitern und anderen hochreinen Anwendungen.

 

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Literatur & Datenblätter

Typische Anwendungen

  • Elektrostatische Futterkanäle und Zuführsysteme
  • Ultrahochreine Gasdiffusion
  • Hochtemperatur-Flüssigkeitsfiltration
  • Halbleiter-Wafersubstrate
  • CVD-Ausrüstungsteile
  • Elektronische Komponenten und Substrate
  • Gasflussstopfen und Anschlüsse

Katalog für Halbleiterprodukte

Entdecken Sie Motts breites Sortiment an hochreinen Filtern, Diffusoren und Durchflussbegrenzern, die exklusiv für Halbleiterhersteller entwickelt wurden.

Produktspezifikation

Warum Mott wählen?

» Über 30 Jahre Erfahrung in der Bereitstellung von Filtern und Durchflusskontrollprodukten für hochreine Anwendungen

» Bereitschaft zur Anpassung an Ihre individuellen Bedürfnisse

» Neuartige, patentierte poröse und porös-feste Hybridprodukte mit branchenführender Reinheit, dielektrischer
Stärke und Integrität

» US-amerikanischer Lieferant, bekannt für absolute Zuverlässigkeit und erstklassige Qualität

» Spezielle Keramik-Fertigungszelle in einer Reinraumumgebung mit konventioneller und
3D-Druckfunktionen

Spezifikationen
Fluss Auf Kundenbedürfnisse zugeschnitten
Materielle Reinheit Bis zu 99.999 % (5N) Aluminiumoxid
Porosität 10-65 %
Porengröße 0.1 – 60 Mikrometer
Geometrien

Poröse Stopfen mit Ummantelung

Kleine Rohre/Buchsen

PLATTEN

Scheiben

Kontaktiere uns!

Sprechen Sie mit uns über Ihre individuellen Materialien (Aluminiumoxid, Zirkonoxid, Siliziumnitrid, Tricalciumphosphat, Hydroxylapatit, Aluminiumoxid usw.) und Designanforderungen.

Wir würden gerne mit Ihnen an Ihrem nächsten Keramikprojekt zusammenarbeiten.

Unsere Designfähigkeiten

  • Durchfluss-/Druckabfallkurven und Filtrationseffizienz für praktisch jedes Design
  • Überlegungen zur Gaskompatibilität
  • Kundenspezifische Filtermedien, Druckbehälter sowie Anschlussmaterial und Konfigurationen erhältlich

Relevante Dienstleistungen für poröse Keramik und hochreine Keramiklösungen

Design-Expertise - Von der Konzeption bis zur Fertigstellung passen wir hochreine Keramiklösungen basierend auf Ihren Designparametern an. Unser engagiertes Team stellt sich den Herausforderungen und ist bestrebt, die beste poröse Keramik ohne Kompromisse bei der Qualität herzustellen, unabhängig von der Komplexität der Aufgabe.

Lab-Tests - Sollten Sie vor der Installation Datenpakete oder Machbarkeitstests für Ihre porösen Keramikkomponenten benötigen, stehen wir Ihnen gerne zur Verfügung. Unser Laborzentrum führt umfassende Charakterisierungs- und Leistungstests durch, um sicherzustellen, dass Ihre Teile strengen Spezifikationen entsprechen. Diese strengen Tests verdeutlichen die genauen Fähigkeiten und potenziellen Einschränkungen der Produkte und verhindern so kostspielige Schäden durch Überanstrengung oder übermäßigen Stress.

Technische Unterstützung - Arbeiten Sie mit unseren Projektingenieuren zusammen, um sich eingehend mit Ihren Prozessanforderungen zu befassen und das richtige poröse Keramik- oder elektrostatische Spannfutterdesign auszuwählen, das auf Ihre Anwendung zugeschnitten ist. Mit einer Vielzahl von Anpassungsmöglichkeiten für unsere Keramikprodukte sind unsere erfahrenen Ingenieure bestrebt, sicherzustellen, dass das, was Sie erhalten, perfekt auf Ihre spezifischen Bedürfnisse abgestimmt ist.

Erstklassige Produkte

Wir bei Mott sind stolz darauf, qualitativ hochwertige Produkte zu liefern, die seit Jahrzehnten in mehreren Branchen eingesetzt werden. Unsere hochreinen porösen Keramiken werden in mehreren Bereichen hoch bewertet, um sicherzustellen, dass sie den Anforderungen Ihrer Maschinen standhalten. Wir können auch zusätzliche Geometrien unserer ultrahochreinen porösen Keramiken entwickeln. Mott-Vertriebsmitarbeiter führen gerne eine Konservierung mit Ihnen durch, um festzustellen, ob unsere Fähigkeiten Ihren Anforderungen entsprechen!

FAQs: Ultrahochreine poröse Keramik

F: Was sind die einzigartigen Merkmale der ultrahochreinen porösen Keramik von Mott?

A: Die hochreinen porösen Keramiken von Mott können an spezifische Anwendungsanforderungen angepasst werden. Sie bieten ein breites Spektrum an chemischen Kompatibilitäten und sind in Umgebungen mit hohen Temperaturen, hoher Spannung und/oder hohem Druck langlebig. Diese Keramiken eignen sich besonders für Anwendungen, die höchste Reinheitsstandards erfordern.

F: In welchen Formen kann die poröse Keramik von Mott hergestellt werden?

A: Die porösen Keramiken von Mott weisen eine hohe geometrische Flexibilität auf. Sie können in verschiedene Formen gebracht werden, beispielsweise in Form kleiner Röhren, Buchsen, Scheiben oder Hülsenstopfen, und erfüllen so die unterschiedlichsten Anwendungsanforderungen. Mott entwickelt derzeit den 3D-Druck von Keramikteilen, um komplexe Geometrien herzustellen und bei Bedarf präzise Porosität zu erzielen.

F: Was sind die Hauptvorteile der Verwendung von porösem Aluminiumoxid in hochreinen Keramikanwendungen?

A: Poröses Aluminiumoxid oder Aluminiumoxid Al2O3 bietet hervorragende mechanische Festigkeit, Verschleißfestigkeit und Beständigkeit gegenüber korrosiven Umgebungen. Seine hohe Stabilität bei erhöhten Temperaturen, seine beeindruckende Härte, seine hervorragende Korrosionsbeständigkeit, sein niedriger Wärmeausdehnungskoeffizient und sein hoher Schmelzpunkt machen es in vielen Branchen wertvoll, insbesondere in Halbleiterprozessen.

F: Können die porösen Keramiken von Mott in elektrostatischen Spannfutteranwendungen verwendet werden?

A: Mott kann wichtige Komponenten eines elektrostatischen Spannfutters bereitstellen, um dessen Nutzungsdauer zu verlängern und seine Wärmemanagementleistung zu verbessern. Unsere fortschrittlichen porösen Keramikstopfen werden beispielsweise aus hochreinem Aluminiumoxid mit sorgfältig entwickelten Porengrößen hergestellt, was einen zuverlässigen und gleichmäßigen Kühlgasfluss ermöglicht. Ihre inhärente Durchbruchfestigkeit bei hoher Spannung ermöglicht einen Betrieb über längere Zeiträume ohne Lichtbögen und steigert so die Produktivität des gesamten Halbleiterwerkzeugs. Mit diesem verringerten Risiko von Lichtbogenereignissen, die typischerweise zu ertragsbegrenzenden Ablagerungen führen, kombiniert mit einer gleichmäßigeren Rückseitenkühlung, können Sie jetzt die Leistung Ihrer Prozesskammer durch verbesserte Prozesskontrolle und vorhersehbarere Wartungspläne maximieren.

F: Was macht poröses Aluminiumoxid zu einem bevorzugten Material für hochreine Keramikanwendungen?

A: Poröses Aluminiumoxid, auch bekannt als Aluminiumoxid (Al2O3), ist ein keramisches Material, das für seine außergewöhnliche mechanische Festigkeit, Verschleißfestigkeit und Widerstandsfähigkeit in korrosiven Umgebungen bekannt ist. Seine Eigenschaften wie hohe Temperaturstabilität, Härte, Korrosionsbeständigkeit, niedriger Wärmeausdehnungskoeffizient und hoher Schmelzpunkt machen es für verschiedene Branchen von unschätzbarem Wert. Die hochreinen porösen Aluminiumoxidkeramiken von Mott werden mit bis zu 99.999 % reinem Aluminiumoxid hergestellt und gewährleisten optimale Leistung und Reinheit für kritische Anwendungen.