Hochreine Groß- und Nutzfilter von Mott
Mott High Purity Bulk- und Utility-Filter bieten eine 9-Log-Filtration von Partikeln bis zu 0.0015 μm und sorgen so für partikelfreies Gas. Diese hochreinen Filter sind ideal geeignet für die Handhabung der höheren Temperaturen, die bei erhitzten Trockenvorgängen häufig hinter einem Reiniger auftreten. Unsere Bulk-Gasfilter und -gehäuse sind so konstruiert, dass sie optimale Leistung und Zuverlässigkeit in anspruchsvollen Anwendungen bieten.
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Eine Mott-Minute | Albert Blank über die Filtration von Halbleiter-Massengasen
Albert Blank, Innovationsprogramm-Manager, hebt Motts Bulk-Filter-Produktlinie für die Halbleiter-Gasfiltration. Führende Gasunternehmen und Chiphersteller vertrauen uns,
Mott-Großfilter liefern:
- 99.9999999 % Reinheit für hohe Zuverlässigkeit
- Nahtlose Integration in bestehende Rohrleitungssysteme
- Schlüsselfertige Lösungen mit Rohrleitungen, Ventilen und Steuerungen
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Literatur & Datenblätter
Typische Anwendungen
Katalog für Halbleiterprodukte
Entdecken Sie Motts breites Sortiment an hochreinen Filtern, Diffusoren und Durchflussbegrenzern, die exklusiv für Halbleiterhersteller entwickelt wurden.
Produktspezifikation
| Betriebsbedingungen |
»Maximaler Betriebsdruck: bis zu 650 psig (44.8 psig) »Maximale Betriebstemperatur für Inertgas: bis zu 450 ° C. »Maximaler Differenzdruck: bis zu 250 psid (17.2 Barg) |
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| Materialien |
»Hardware: 316L SS »Filtermedium: 316L SS-Faser oder Penta® Nickel » Oberflächenbeschaffenheit der benetzten Hardware: 10 Ra » Auch kundenspezifische Materialien erhältlich |
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| Spezifikationen |
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| Flussdaten |
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| Armaturen & Abmessungen |
BGF-310 & BGF-315
BGF-610
BGF-615
BGF-815
BGF12P23
* Sonderanfertigungen und Beschläge erhältlich. |
Bulk-Filter mit Nenndurchflüssen bis zu 170,000 SLPM sind verfügbar. Informationen zur Durchflusskurve finden Sie im Werk oder in den technischen Datenblättern.
Videos & Artikel
Unsere Designfähigkeiten
- Durchfluss- / Druckabfallkurven und Filtrationseffizienz für praktisch jedes Systemdesign
- Überlegungen zur Gaskompatibilität
- Kundenspezifische Filtermedien, Druckbehälter sowie Anschlussmaterial und Konfigurationen erhältlich
Relevante Dienstleistungen
Design-Expertise - Von Anfang bis Ende passen wir Mott-Gasfilter basierend auf Ihren Designparametern an. Fordern Sie uns heraus!
Qualitätszertifikate - Benötigen Sie Kennzeichnungen für die Konformität mit Gesundheits-, Sicherheits- und Umweltstandards wie CE? Wir geben dir Deckung.
Umfangreiches Partnernetzwerk - Wenn ein Gasfiltermaterial in großen Mengen nicht aufgeführt ist oder wir über keine entsprechende Kapazität verfügen, können wir auf ein umfangreiches Partnernetzwerk für die Materialbeschaffung, fortschrittliche Fertigung und Validierungstests zurückgreifen.
Technische Unterstützung - Unsere Projektingenieure beraten Sie gerne zu Ihrem Prozess und helfen Ihnen bei der Auswahl des idealen Gasfilters für Ihren Anwendungsbereich.
FAQs: Massengasfilter und -filtration
F: Was ist ein Massenfilter im Zusammenhang mit ultrahochreinen Anwendungen?
A: Ein Massenfilter ist ein spezielles Filtergerät, das für die Handhabung großer Gasmengen entwickelt wurde und die Entfernung von Verunreinigungen und Verunreinigungen gewährleistet, insbesondere bei Anwendungen mit ultrahoher Reinheit wie der Halbleiterfertigung.
F: Wie gewährleistet der Massenfilter von Mott eine 9-Log-Filterung?
A: Die Massenfilter von Mott sind mit fortschrittlicher poröser Metalltechnologie ausgestattet, die eine 9-Log-Filtration ermöglicht. Mott-Filter werden mit der höchsten Qualität und der höchsten Porositätspräzision auf dem Markt hergestellt. Dadurch wird sichergestellt, dass das durchströmende Gas von höchster Reinheit ist und frei von Partikeln und Verunreinigungen ist.
F: Sind die Massengasfilter von Mott mit verschiedenen Halbleiterprozessgasen kompatibel?
A: Ja, die Massengasfilter von Mott sind so konzipiert, dass sie mit allen hochreinen Halbleiterprozessgasen kompatibel sind und so Vielseitigkeit und Zuverlässigkeit in einer Reihe anspruchsvoller Anwendungen gewährleisten. Mott-Filter werden in den anspruchsvollsten Halbleiterchip-Herstellungsprozessen verwendet, einschließlich fortschrittlicher Knotentechnologien < 7 nm.
F: Wie tragen die Massengasfilter von Mott zu schnelleren Trocknungszeiten bei?
A: Die Massengasfilter von Mott werden aus Materialien und mit einem Design hergestellt, das ein schnelles „Trocknen“ ermöglicht, d. h. sie erreichen ihre optimale Leistung in Minuten statt in Stunden, wodurch Ausfallzeiten reduziert und die Effizienz erhöht wird.
F: Können die Großgasfilter von Mott mit korrosiven Gasen umgehen?
A: Absolut. Die Massenfilter von Mott sind in verschiedenen Materialien erhältlich, darunter Edelstahl, Hastelloy® und Penta® Nickel, wodurch sie für die Handhabung einer Reihe von Gasen, einschließlich korrosiver Gase, geeignet sind.
