Hochreine Groß- und Nutzfilter von Mott

Mott High Purity Bulk- und Utility-Filter bieten eine 9-Log-Filtration von Partikeln bis zu 0.0015 μm und sorgen so für partikelfreies Gas. Diese hochreinen Filter sind ideal geeignet für die Handhabung der höheren Temperaturen, die bei erhitzten Trockenvorgängen häufig hinter einem Reiniger auftreten. Unsere Bulk-Gasfilter und -gehäuse sind so konstruiert, dass sie optimale Leistung und Zuverlässigkeit in anspruchsvollen Anwendungen bieten.

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Eine Mott-Minute | Albert Blank über die Filtration von Halbleiter-Massengasen

Albert Blank, Innovationsprogrammmanager , hebt die Produktlinie von Mott für Massenfilter zur Gasfiltration in der Halbleiterindustrie hervor . Führende Gasunternehmen und Chiphersteller vertrauen auf diese Produkte.

Mott-Großfilter liefern:

  • 99.9999999 % Reinheit für hohe Zuverlässigkeit
  • Nahtlose Integration in bestehende Rohrleitungssysteme
  • Schlüsselfertige Lösungen mit Rohrleitungen, Ventilen und Steuerungen
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Produktspezifikation

Betriebsbedingungen

»Maximaler Betriebsdruck: bis zu 650 psig (44.8 psig)

»Maximale Betriebstemperatur für Inertgas: bis zu 450 ° C.

»Maximaler Differenzdruck: bis zu 250 psid (17.2 Barg)

Materialien

»Hardware: 316L SS

»Filtermedium: 316L SS-Faser oder Penta® Nickel

» Oberflächenbeschaffenheit der benetzten Hardware: 10 Ra

» Auch kundenspezifische Materialien erhältlich

Spezifikationen
Partikelentfernungsgröße: ≥ 0.0015 μm
Heliumleck Bewertung: 1 x 10 & supmin; & sup9; atm cm³ / s
Feuchtigkeitsbeitrag: <10 ppb nach 1 Stunde bei Umgebungsspülung mit geringem Durchfluss gemäß SEMI F27-Testmethode
Gesamtkohlenwasserstoffe: Unterhalb der nachweisbaren Grenzen gemäß ASTM F1398-Testmethode
Partikelabwurf: Kein Partikelbeitrag über dem Hintergrund (<1 Partikel / ft³) gemäß SEMI F43-0308-Testmethode
Flussdaten

Bulk-Filter mit Nenndurchflüssen bis zu 170,000 SLPM sind verfügbar. Informationen zur Durchflusskurve finden Sie im Werk oder in den technischen Datenblättern.

Armaturen & Abmessungen

BGF-310 & BGF-315

Teil Beschreibung Fitting Type A in / mm B in / mm C in / mm
BGF-310-2TS-N-4M
BGF-310H-2TS-N-13M
2 ”Tube Stub 17.95/455.9 3.00/76.2 2.00/50.8
BGF-310-1.5TS-N-4M 1.5 ”Tube Stub 24.39/619.5 3.00/76.2 1.50/38.1
BGF-310-1TS-N-4M 1 ”Tube Stub 25.17/639.3 3.00/76.2 1.00/25.4
BGF-315-2TS-N-6M 2 ”Tube Stub 22.98/583.7 3.00/76.2 2.00/50.8
BGF-315-1.5TS-N-6M 1.5 ”Tube Stub 29.42/747.3 3.00/76.2 1.50/38.1
BGF-315H-40A5S-N-15M JIS40A5S 21.26/540.0 3.00/76.2 1.91/48.5

 

BGF-610

Teil Beschreibung Fitting Type A in / mm B in / mm C in / mm
BGF-610-4TS-N-19M
BGF-610H-4TS-N-30M
4 ”Tube Stub 18.40/467.4 6.00/152.4 4.00/101.6
BGF-610-2TS-N-19M 2 ”Tube Stub 24.86/631.4 6.00/152.4 2.00/50.8
BGF-610-1.5TS-N-19M 1.5 ”Tube Stub 24.86/631.4 6.00/152.4 1.50/38.1
BGF-610-1TS-N-19M 1 ”Tube Stub 24.86/631.4 6.00/152.4 1.00/25.4

 

BGF-615

Teil Beschreibung Fitting Type A in / mm B in / mm C in / mm
BGF-615-6TS-N-28M
BGF-615H-6TS-N-35M
BGF-615HF-6TS-N-60M
6 ”Tube Stub 28.81/731.8 6.00/152.4 6.00/152.4
BGF-615-4TS-N-28M
BGF-615H-4TS-N-35M
BGF-615HF-4TS-N-60M
4 ”Tube Stub 23.41/594.6 6.00/152.4 4.00/101.6
BGF-615-2TS-N-28M
BGF-615H-2TS-N-35M
BGF-615HF-2TS-N-60M
2 ”Tube Stub 29.89/759.2 6.00/152.4 2.00/50.8

 

BGF-815

Teil Beschreibung Fitting Type A in / mm B in / mm C in / mm
BGF-815HF-6TS-N-170M 6 ”Tube Stub 22.81/579.3 8.63/219.0 6.00/152.4

 

BGF12P23

Teil Beschreibung Fitting Type A in / mm B in / mm C in / mm
BGF12P23-150A5S-F-175M JIS150A5S 39.40/1000.6 12.75/323.9 6.50/165.1

* Sonderanfertigungen und Beschläge erhältlich.

Unsere Designfähigkeiten

  • Durchfluss- / Druckabfallkurven und Filtrationseffizienz für praktisch jedes Systemdesign
  • Überlegungen zur Gaskompatibilität
  • Kundenspezifische Filtermedien, Druckbehälter sowie Anschlussmaterial und Konfigurationen erhältlich

 

Relevante Dienstleistungen

DesignkompetenzVon der Konzeption bis zur Fertigstellung passen wir Mott-Großraumgasfilter individuell an Ihre Designparameter an. Fordern Sie uns heraus!

QualitätszertifizierungenBenötigen Sie Kennzeichnungen für die Einhaltung von Gesundheits-, Sicherheits- und Umweltstandards wie CE? Wir helfen Ihnen gerne weiter.

Umfangreiches Partnernetzwerk – Falls ein Massengasfiltermaterial nicht aufgeführt ist oder eine bestimmte Fähigkeit nicht im eigenen Haus vorhanden ist, verfügen wir über ein umfangreiches Netzwerk von Partnern für die Materialbeschaffung, die fortschrittliche Fertigung und Validierungstests.

Technischer Support – Unsere Projektingenieure stehen Ihnen für eine Beratung zu Ihrem Prozess zur Verfügung und helfen Ihnen bei der Auswahl des idealen Gasfilters für Ihre Anwendung.

FAQs: Massengasfilter und -filtration

F: Was ist ein Massenfilter im Zusammenhang mit ultrahochreinen Anwendungen?

A: Ein Massenfilter ist ein spezielles Filtergerät, das für die Handhabung großer Gasmengen entwickelt wurde und die Entfernung von Verunreinigungen und Verunreinigungen gewährleistet, insbesondere bei Anwendungen mit ultrahoher Reinheit wie der Halbleiterfertigung.

F: Wie gewährleistet der Massenfilter von Mott eine 9-Log-Filterung?

A: Die Massenfilter von Mott sind mit fortschrittlicher poröser Metalltechnologie ausgestattet, die eine 9-Log-Filtration ermöglicht. Mott-Filter werden mit der höchsten Qualität und der höchsten Porositätspräzision auf dem Markt hergestellt. Dadurch wird sichergestellt, dass das durchströmende Gas von höchster Reinheit ist und frei von Partikeln und Verunreinigungen ist.

F: Sind die Massengasfilter von Mott mit verschiedenen Halbleiterprozessgasen kompatibel?

A: Ja, die Massengasfilter von Mott sind so konzipiert, dass sie mit allen hochreinen Halbleiterprozessgasen kompatibel sind und so Vielseitigkeit und Zuverlässigkeit in einer Reihe anspruchsvoller Anwendungen gewährleisten. Mott-Filter werden in den anspruchsvollsten Halbleiterchip-Herstellungsprozessen verwendet, einschließlich fortschrittlicher Knotentechnologien < 7 nm.

F: Wie tragen die Massengasfilter von Mott zu schnelleren Trocknungszeiten bei?

A: Die Massengasfilter von Mott werden aus Materialien und mit einem Design hergestellt, das ein schnelles „Trocknen“ ermöglicht, d. h. sie erreichen ihre optimale Leistung in Minuten statt in Stunden, wodurch Ausfallzeiten reduziert und die Effizienz erhöht wird.

F: Können die Großgasfilter von Mott mit korrosiven Gasen umgehen?

A: Absolut. Die Massenfilter von Mott sind in verschiedenen Materialien erhältlich, darunter Edelstahl, Hastelloy® und Penta® Nickel, wodurch sie für die Handhabung einer Reihe von Gasen, einschließlich korrosiver Gase, geeignet sind.

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