Fab Facility-Komponenten
Verbessern Sie die Sicherheit Ihrer Halbleiterfertigungsanlage mit Motts hochreinen Komponenten für Halbleiterfertigungsanlagen. Unsere hochreinen Mott-Filter, darunter poröse Penta® Nickel-Massenfilter und Halbleiterfertigungsgasfilter, sind darauf ausgelegt, die strengen Anforderungen der modernen Halbleiterfertigung zu erfüllen.
Hochreine Filtrationslösungen
Hochdruck-Sauerstoffsysteme in Fabrikanlagen sind anfällig für adiabatische Kompressionszündung, wenn Materialien wie Teflon verwendet werden, die hoher Zündenergie nicht standhalten. Das Ergebnis kann katastrophal sein. Die hochreinen porösen Penta® Nickel-Metallfilter von Mott arbeiten bei höheren Temperaturen als Kunststoff, Teflon oder Edelstahl und wirken als Kühlkörper, um jede mögliche Flamme zu löschen. Unsere Massengasfiltrationslösungen gewährleisten Sicherheit und Effizienz in diesen anspruchsvollen Umgebungen.
Präzise Durchflussregelung für Fabs
Mott-Präzisionsdurchflussbegrenzer werden in Gasrückhaltesystemen (wie Ventilverteilerkästen, Werkzeugisolationskästen und Gasschränken) installiert, um den Gasfluss bei Katastrophen zu begrenzen. Diese Mott-Durchflussbegrenzer reduzieren auch die erforderliche Luftaustauschdurchflussrate in belüfteten Rückhaltesystemen, was kleinere Entlüftungsrohre und niedrigere Baukosten zur Folge hat.
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Relevante Unterlagen
Typische Anwendungen:
- Massengase vor Ort
- Ventilverteilerkasten
- Werkzeugisolationsbox
- Gasschrank
Halbleiter-Produktkatalog
Entdecken Sie Motts breites Sortiment an hochreinen Filtern, Diffusoren und Durchflussbegrenzern, die exklusiv für Halbleiterhersteller entwickelt wurden.
Hochreine Gasflussbegrenzer
Wenn Sie nach einer kostengünstigen Option suchen, um eine konsistente Durchflusskontrolle und Verstopfungsbeständigkeit zu erreichen, erkunden Sie unsere hochreinen Durchflussbegrenzer aus porösem Metall.
Lab & Engineering Services
Entdecken Sie unser gesamtes Leistungsspektrum, einschließlich Rapid Prototyping, Filtermachbarkeit, Mediencharakterisierung und mehr.
Was sind Fabs?
Fabs, kurz für „Fabrication Plants“, sind spezialisierte Anlagen zur Herstellung von Halbleiterbauelementen wie integrierten Schaltkreisen (ICs). In diesen Anlagen werden Siliziumwafer komplexen Prozessen wie Dotierung, Ionenimplantation und Ätzen unterzogen, um in Chips umgewandelt zu werden. Angesichts der für diese Prozesse erforderlichen Präzision ist die Aufrechterhaltung der größtmöglichen Reinheit von Gasen und Chemikalien unerlässlich. Die Mott Corporation spielt eine zentrale Rolle, indem sie fortschrittliche Lösungen zur Halbleiterfiltration und Gaszufuhr anbietet, um die hohen Reinheitsstandards in Fabs zu erfüllen.
FAQs: Fab Facility-Komponenten
F: Welche Komponenten bietet Mott an, um die Sicherheit einer Fabrikanlage zu verbessern?
A: Mott bietet hochreine poröse Penta®-Nickel-Massenfilter und Präzisions-Durchflussbegrenzer an, um die Sicherheit und Effizienz von Fabrikanlagen zu verbessern.
F: Warum sind die porösen Nickelmetallfilter Penta® von Mott für eine Fabrikanlage unerlässlich?
A: Die porösen Metallfilter Penta® Nickel von Mott arbeiten bei höheren Temperaturen als Materialien wie Kunststoff, Teflon oder Edelstahl. Sie fungieren als Wärmesenke und löschen potenzielle Flammen. Daher sind sie besonders wichtig für Hochdruck-Sauerstoffsysteme in Fabrikanlagen, in denen die Gefahr einer adiabatischen Kompressionszündung besteht.
F: Wie profitieren Mott Precision Flow Restrictors von Gaseinschlusssystemen in einer Fabrikanlage?
A: Wenn Mott-Präzisionsdurchflussbegrenzer in Gasrückhaltesystemen wie Ventilverteilerkästen, Werkzeugisolationskästen und Gasschränken installiert werden, begrenzen sie den Gasfluss bei Katastrophen. Sie reduzieren auch die erforderliche Luftaustauschdurchflussrate in belüfteten Rückhaltesystemen, was zu kleineren Entlüftungsrohren und folglich zu geringeren Baukosten führt. Poröses Metall ist ein ideales Medium zur Durchflussregelung, da es selbst unter schwierigsten Prozessbedingungen einen gleichmäßigen, laminaren Durchfluss bietet. Im Vergleich zu Durchflussöffnungen verstopft poröses Metall nicht und weist auch keine turbulenten Durchflussprobleme auf, da das Gas durch Tausende winziger Poren und nicht durch einen einzigen Durchflusskanal strömt.
F: Wie tragen die Lösungen von Mott zu Kosteneinsparungen in einer Fabrik bei?
A: Die Lösungen von Mott wurden mit dem spezifischen Ziel entwickelt, die Leistung zu verbessern und die Betriebskosten für unsere Kunden in unserem gesamten Produktportfolio zu senken:
– Drosseln: Durch die Reduzierung der erforderlichen Luftströmungsrate in belüfteten Eindämmungssystemen ermöglichen die Präzisionsdurchflussbegrenzer von Mott kleinere Entlüftungsrohre, was zu geringeren Baukosten für die Fabrikanlage führt. Unsere porösen Metalldrosseln verhindern, dass Druckstöße in Gasleitungen nachgelagerte Prozesse verunreinigen, und reduzieren so Kosten und Ausfallzeiten.
– Organische Diffusoren: Diffusoren, die in Vakuumkammern verwendet werden, werden sehr nahe am Wafer positioniert, der verarbeitet wird. Aufgrund der Nähe zum Wafer ist Reinheit entscheidend, um eine optimale Ausbeute sicherzustellen und Ausfallzeiten für die Werkzeugwartung zu vermeiden. Die organischen Lösungen von Mott eliminieren das Potenzial für Waferkontaminationen und erhöhen so die Ausbeute und reduzieren Ausfallzeiten.
– Sinterfaserfilter: Die Sinterfaserfilter von Mott, einschließlich Point-of-Use- und Bulk-Formaten, bieten Kunden den niedrigsten Druckabfall auf dem Markt, 6-mal niedriger als Sinterpulverfilter. Eine geringere Differenzdruckvariabilität von Teil zu Teil ermöglicht eine engere Systemsteuerung in der Halbleiterfabrik. Die Sinterfaserfilter von Mott haben im Vergleich zu PTFE-Filtern eine 3- bis 5-mal kürzere Trocknungszeit, was die Ausfallzeiten für Kunden reduziert. Darüber hinaus besteht im Vergleich zu Filterlösungen auf Teflonbasis keine Brandgefahr.
