Filtres en vrac et utilitaires haute pureté Mott

Les filtres Mott haute pureté pour gaz en vrac et utilitaires offrent une filtration log-9 des particules aussi fines que 0.0015 μm, garantissant ainsi un gaz exempt de particules. Ces filtres ultra-haute pureté sont parfaitement adaptés aux températures élevées souvent rencontrées en aval d'un purificateur lors des opérations de chauffage et de séchage. Nos filtres et boîtiers pour gaz en vrac sont conçus pour offrir des performances et une fiabilité optimales dans les applications exigeantes.

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Une minute Mott | Albert Blank sur la filtration des gaz en vrac des semi-conducteurs

Albert Blank, responsable du programme d'innovation, met en avant Mott's gamme de produits de filtration en vrac pour la filtration des gaz semi-conducteurs. Approuvé par les principales sociétés gazières et les fabricants de puces électroniques,

Les filtres en vrac Mott offrent :

  • Pureté de 99.9999999 % pour une fiabilité élevée
  • Intégration transparente dans les systèmes de tuyauterie existants
  • Solutions clés en main avec tuyauterie, vannes et commandes
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Spécifications du produit

Conditions d'utilisation

» Pression de service maximale : jusqu'à 650 psig (44.8 barg)

» Température maximale de fonctionnement du gaz inerte : jusqu'à 450 °C

» Pression différentielle maximale : jusqu'à 250 psid (17.2 barg)

Matériel Requis

» Quincaillerie : SS 316L

» Matériau filtrant : Fibre SS 316L ou Nickel Penta®

» Finition de la surface du matériel mouillé : 10 Ra

» Matériaux personnalisés également disponibles

DONNÉES TECHNIQUES
Taille des particules éliminées : ≥ 0.0015 μm
Étanchéité à l'hélium : 1 x 10-9 atm cc/sec
Apport d'humidité : < 10 ppb après 1 heure de purge ambiante à faible débit selon la méthode de test SEMI F27
Hydrocarbures totaux : En dessous des limites détectables selon la méthode de test ASTM F1398
Perte de particules : Contribution nulle aux particules au-dessus du bruit de fond (< 1 particule/pi³) selon la méthode d'essai SEMI F43-0308
Données de flux

Des filtres en vrac avec des débits nominaux allant jusqu'à 170,000 XNUMX SLPM sont disponibles. Consultez les fiches techniques ou l'usine pour obtenir des informations sur les courbes de débit.

Raccords et dimensions

BGF-310 et BGF-315

Description de la pièce Type de raccord Un pouce/mm B po/mm C po/mm
BGF-310-2TS-N-4M
BGF-310H-2TS-N-13M
Embout de tube de 2 po 17.95/455.9 3.00/76.2 2.00/50.8
BGF-310-1.5TS-N-4M Embout de tube de 1.5 po 24.39/619.5 3.00/76.2 1.50/38.1
BGF-310-1TS-N-4M Embout de tube de 1 po 25.17/639.3 3.00/76.2 1.00/25.4
BGF-315-2TS-N-6M Embout de tube de 2 po 22.98/583.7 3.00/76.2 2.00/50.8
BGF-315-1.5TS-N-6M Embout de tube de 1.5 po 29.42/747.3 3.00/76.2 1.50/38.1
BGF-315H-40A5S-N-15M JIS40A5S 21.26/540.0 3.00/76.2 1.91/48.5

 

BGF-610

Description de la pièce Type de raccord Un pouce/mm B po/mm C po/mm
BGF-610-4TS-N-19M
BGF-610H-4TS-N-30M
Embout de tube de 4 po 18.40/467.4 6.00/152.4 4.00/101.6
BGF-610-2TS-N-19M Embout de tube de 2 po 24.86/631.4 6.00/152.4 2.00/50.8
BGF-610-1.5TS-N-19M Embout de tube de 1.5 po 24.86/631.4 6.00/152.4 1.50/38.1
BGF-610-1TS-N-19M Embout de tube de 1 po 24.86/631.4 6.00/152.4 1.00/25.4

 

BGF-615

Description de la pièce Type de raccord Un pouce/mm B po/mm C po/mm
BGF-615-6TS-N-28M
BGF-615H-6TS-N-35M
BGF-615HF-6TS-N-60M
Embout de tube de 6 po 28.81/731.8 6.00/152.4 6.00/152.4
BGF-615-4TS-N-28M
BGF-615H-4TS-N-35M
BGF-615HF-4TS-N-60M
Embout de tube de 4 po 23.41/594.6 6.00/152.4 4.00/101.6
BGF-615-2TS-N-28M
BGF-615H-2TS-N-35M
BGF-615HF-2TS-N-60M
Embout de tube de 2 po 29.89/759.2 6.00/152.4 2.00/50.8

 

BGF-815

Description de la pièce Type de raccord Un pouce/mm B po/mm C po/mm
BGF-815HF-6TS-N-170M Embout de tube de 6 po 22.81/579.3 8.63/219.0 6.00/152.4

 

BGF12P23

Description de la pièce Type de raccord Un pouce/mm B po/mm C po/mm
BGF12P23-150A5S-F-175M JIS150A5S 39.40/1000.6 12.75/323.9 6.50/165.1

*Conceptions et accessoires personnalisés disponibles.

Nos capacités de conception

  • Courbes de débit/perte de charge et efficacité de filtration pour pratiquement toutes les conceptions de systèmes
  • Considérations sur la compatibilité des gaz
  • Supports filtrants, récipients sous pression, matériaux et configurations de raccords personnalisés disponibles

 

Produits et services

Expertise en conception - Du début à la fin, nous personnalisons les filtres à gaz Mott en vrac selon vos paramètres de conception. Mettez-nous au défi !

Certifications de qualité - Besoin de marquages ​​de conformité aux normes de santé, de sécurité et d'environnement comme CE ? Nous avons la solution.

Vaste réseau de partenaires – Si un matériau de filtre à gaz en vrac n'est pas répertorié ou si une capacité n'est pas disponible en interne, nous disposons d'un vaste réseau de partenaires pour l'approvisionnement en matériaux, la fabrication avancée et les tests de validation.

Support technique – Nos ingénieurs de projet sont à votre disposition pour vous conseiller sur votre processus et vous aider à sélectionner le filtre à gaz en vrac idéal pour votre application.

FAQ : Filtres à gaz en vrac et filtration

Q : Qu’est-ce qu’un filtre en vrac dans le contexte d’applications de très haute pureté ?

R : Un filtre en vrac est un dispositif de filtration spécialisé conçu pour traiter de grands volumes de gaz, garantissant l'élimination des contaminants et des impuretés, en particulier dans les applications de très haute pureté comme la fabrication de semi-conducteurs.

Q : Comment le filtre en vrac de Mott garantit-il une filtration de 9 log ?

R : Les filtres Mott's sont conçus avec une technologie avancée de métal poreux, leur permettant d'atteindre une filtration de 9 log. Fabriqués avec la plus haute qualité et la plus haute précision de porosité du marché, les filtres Mott's garantissent un gaz d'une pureté optimale, exempt de particules et de contaminants.

Q : Les filtres à gaz en vrac de Mott sont-ils compatibles avec divers gaz de procédé de semi-conducteurs ?

R : Oui, les filtres à gaz en vrac Mott sont conçus pour être compatibles avec tous les gaz de procédé de semi-conducteurs de haute pureté, garantissant ainsi polyvalence et fiabilité dans diverses applications exigeantes. Les filtres Mott sont utilisés dans les procédés de fabrication de puces semi-conductrices les plus exigeants, notamment les technologies de nœuds avancés < 7 nm.

Q : Comment les filtres à gaz en vrac de Mott contribuent-ils à des temps de « séchage » plus rapides ?

R : Les filtres à gaz en vrac de Mott sont fabriqués avec des matériaux et des conceptions qui permettent un « séchage » rapide, ce qui signifie qu'ils atteignent des performances optimales en quelques minutes plutôt qu'en heures, réduisant ainsi les temps d'arrêt et augmentant l'efficacité.

Q : Les filtres à gaz en vrac de Mott peuvent-ils gérer les gaz corrosifs ?

R : Absolument. Les filtres en vrac Mott's sont disponibles dans divers matériaux, notamment l'acier inoxydable, l'Hastelloy® et le Penta® Nickel, ce qui les rend adaptés à la manipulation de divers gaz, y compris les gaz corrosifs.