Filtres à montage en surface GasShield®
Les filtres à montage en surface Mott GasShield® offrent des capacités de filtration haut de gamme de 0.0015 μm dans les systèmes de gaz intégrés utilisés dans les outils OEM de semi-conducteurs. Ces GasShield® Les filtres à montage en surface sont conçus pour s'intégrer parfaitement aux systèmes de distribution de gaz à montage en surface à quatre attaches de 1.125" et 1.5", avec des configurations à joint en C et en W. Ils sont compatibles avec une large gamme de gaz inertes ainsi qu'avec la plupart des gaz spéciaux.
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Littérature et fiches techniques
Applications typiques
À utiliser avec les systèmes de distribution de gaz modulaires à montage en surface W-seal et C-seal de 1.125" et 1.5".
Catalogue des produits Mott Semiconductor
Découvrez la large gamme de filtres, diffuseurs et limiteurs de débit haute pureté de Mott conçus exclusivement pour les fabricants de semi-conducteurs.
Spécifications du produit
| Conditions d'utilisation |
» Pression de service maximale : 1800 124.1 psig (XNUMX barg) » Température maximale de fonctionnement du gaz inerte : 460 °C » Pression différentielle maximale : 500 psid (34.4 bar) |
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| Matériel Requis |
» Quincaillerie : 316LSS ou alliage 22* » Matériau filtrant : Penta® Nickel, SS 316L ou alliage 22* » Finition de la surface du matériel mouillé : 5 Ra » Matériaux personnalisés également disponibles *L'alliage 22 ou UNS N06022 est un superalliage nickel-chrome-molybdène communément appelé Hastelloy® C-22® |
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| Aux spécifications |
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| Données de flux |
D'autres courbes de débit sont disponibles, consultez l'usine ou les fiches techniques. |
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| Raccords et dimensions |
Joint en C GSMM-75 pour 1.125"
Joint en C GSMM-60 pour 1.500"
Joint en W GSMM-55 pour 1.125 po
Joint en W GSMM-50 pour 1.500 XNUMX po
*Conceptions et accessoires personnalisés disponibles. |
Vidéos et articles
Nos capacités de conception
- Courbes de perte de débit/pression et efficacité de filtration pour pratiquement toutes les conceptions de systèmes, y compris celles nécessitant un filtre à montage en surface pour les outils OEM de semi-conducteurs.
- Considérations sur la compatibilité des gaz
- Supports filtrants, récipients sous pression, matériaux et configurations de raccords personnalisés disponibles
Produits et services
Expertise en conception – Du début à la fin, nous personnalisons des solutions en fonction de vos paramètres de conception, que vous ayez besoin d’un filtre à montage en surface pour des outils OEM de semi-conducteurs ou d’autres applications spécialisées – défiez-nous !
Modélisation des fluides Nos nombreuses applications ont permis de constituer une bibliothèque de données permettant d'améliorer la précision de nos modèles d'écoulement, garantissant ainsi des performances optimales pour les filtres montés en surface et autres composants. Nous fournissons des estimations initiales de performance et de faisabilité avant la construction des prototypes.
Réseau de partenaires étendu – Si un matériau n’est pas répertorié ou si la capacité n’est pas disponible en interne, nous maintenons un vaste réseau de partenaires pour l’approvisionnement en nouveaux matériaux, des capacités de fabrication avancées et des tests de validation, le tout pour soutenir le développement de votre filtre à montage en surface.
Soutien à l'ingénierie – Faites appel à nos ingénieurs experts pour concevoir le filtre à montage en surface adapté à votre application spécifique, garantissant les meilleures performances de filtration possibles.
Filtres à montage en surface : améliorer la fabrication des semi-conducteurs
Les filtres montés en surface sont des composants de filtration spécialisés utilisés dans les systèmes de gaz intégrés des outils OEM de semi-conducteurs. Ils jouent un rôle crucial pour garantir la pureté et la fiabilité des gaz utilisés dans les procédés de fabrication des semi-conducteurs. Placés stratégiquement dans les systèmes de distribution de gaz, ces filtres éliminent efficacement les contaminants et les particules fines jusqu'à 0.0015 μm, garantissant ainsi la conformité des gaz aux normes de qualité les plus strictes. Les filtres montés en surface sont essentiels pour protéger les équipements sensibles des semi-conducteurs, prévenir les défauts dus à la contamination et garantir des performances constantes.
Mott se distingue comme leader dans la fourniture des meilleurs filtres pour montage en surface grâce à son engagement envers l'excellence en matière de filtration. Les filtres Mott sont conçus pour offrir une efficacité de filtration maximale, une régularité de débit inégalée et une fiabilité inégalée. Leur expertise en personnalisation de filtres pour montage en surface selon des paramètres de conception spécifiques garantit que chaque solution est parfaitement adaptée aux besoins spécifiques des différentes applications de semi-conducteurs. De plus, le vaste réseau de partenaires et le support technique de Mott garantissent aux clients des filtres pour montage en surface de haute qualité aux performances optimales, contribuant ainsi à la réussite globale des processus de fabrication de semi-conducteurs.
FAQ : Filtres à montage en surface
Q : Qu’est-ce qu’un filtre à montage en surface et où est-il généralement utilisé dans l’industrie des semi-conducteurs ?
R : Un filtre monté en surface est un composant de filtration spécialisé utilisé dans l'industrie des semi-conducteurs pour assurer une filtration ultra-fine des systèmes de distribution de gaz au sein des équipements de fabrication de semi-conducteurs. Il est généralement utilisé dans les systèmes de gaz pour garantir la pureté et la propreté des gaz utilisés dans divers procédés de fabrication de semi-conducteurs et présente l'avantage de prendre moins de place sur les panneaux de distribution de gaz.
Q : Quelle taille de particules les filtres à montage en surface Mott's GasShield® éliminent-ils des gaz ?
A : Les filtres à montage en surface GasShield® de Mott offrent une efficacité de filtration de pointe, éliminant les particules aussi petites que 0.0015 μm des gaz, ce qui les rend idéaux pour les applications critiques de semi-conducteurs où le contrôle des particules est essentiel.
Q : Les filtres à montage en surface de Mott sont-ils compatibles avec tous les types de gaz utilisés dans la fabrication de semi-conducteurs ?
R : Oui, les filtres à montage en surface GasShield® de Mott sont compatibles avec une large gamme de gaz, y compris les gaz inertes et la plupart des gaz spéciaux couramment utilisés dans les processus de fabrication de semi-conducteurs.
Q : Comment Mott peut-il aider à personnaliser les filtres à montage en surface pour des applications spécifiques de fabrication de semi-conducteurs ?
R : Mott offre une expertise en conception et un support technique pour personnaliser les filtres à montage en surface en fonction de paramètres de conception spécifiques, garantissant que chaque solution est adaptée pour répondre aux besoins uniques de diverses applications de fabrication de semi-conducteurs.
