Filtres au point d'utilisation GasShield®

Pour une efficacité de filtration des gaz maximale, une fiabilité et une régularité de débit inégalées, les filtres point d'utilisation GasShield® sont idéaux pour les applications de distribution de gaz ultra-pur (UHP). Disponibles dans une variété de matériaux, ces filtres point d'utilisation sont compatibles avec la plupart des gaz de procédé haute pureté de qualité électronique, garantissant ainsi des performances optimales.

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Spécifications du produit

Conditions d'utilisation

» Pression de service maximale : jusqu'à 3 750 psig (258 barg)

» Température maximale de fonctionnement du gaz inerte : 460 °C

» Pression différentielle maximale : 1000 psid (68.9 bar)

Matériel Requis

» Quincaillerie : acier inoxydable, acier inoxydable VAR ou alliage 22*

» Matériau filtrant : acier inoxydable, nickel, alliage 22* ou fibre d'acier inoxydable

» Finition de surface du matériel mouillé : 5 Ra pour le matériel en acier inoxydable ou Hastelloy®

» Options personnalisées également disponibles

*L'alliage 22 ou UNS N06022 est un superalliage nickel-chrome-molybdène communément appelé Hastelloy® C-22®

Spécifications techniques
Taille des particules éliminées : ≥ 0.0015 μm
Efficacité du filtre (Valeur de réduction logarithmique) : 9 LRV (99.9999999% de réduction des particules).

Confirmé à la taille de particule la plus pénétrante de 0.08 μm selon la méthode de test SEMI F38-0699

Étanchéité à l'hélium : 1 x 10-9 atm cc/sec
Apport d'humidité : < 10 ppb après 1 heure de purge ambiante à faible débit selon la méthode de test SEMI F27
Hydrocarbures totaux : En dessous des limites détectables selon la méthode de test SEMASPEC 90120396B
Perte de particules : Contribution nulle aux particules au-dessus du bruit de fond (< 1 particule/pi³) selon la méthode d'essai SEMI F43-0308
Raccords et dimensions
POU-03

Description de la pièce Type de raccord Un pouce/mm B po/mm C po/mm
POU-3-SV1

POU-3-HV1

POU-3-HSV1

POU-3-NSV1

Joint facial mâle/mâle ¼ po 3.31/84.0 1.50/38.1 1.062/26.9
POU-3-SV3

POU-3-HV3

POU-3-HSV3

Joint facial mâle/mâle de ½ po 3.31/84.0 1.50/38.1 1.062/26.9
POU-05

Description de la pièce Type de raccord Un pouce/mm B po/mm C po/mm
POU-05-SV1

POU-05-HV1

POU-05-NSV1

Joint facial mâle/mâle ¼ po 3.31/84.0 0.75/19.0 0.812/20.6
POU-05-ST1

POU-05-NST1

Tubes soudés bout à bout de ¼ po 3.31/84.0 0.75/19.0 N/D
POU-05-FSV1 Joint facial mâle/mâle ¼ po 3.31/84.0 0.75/19.0 0.625/15.9
POU-10

Description de la pièce Type de raccord Un pouce/mm B po/mm C po/mm
POU-10-SV1

POU-10-HV1

POU-10-HSV1

Joint facial mâle/mâle ¼ po 5.00/127.0 1.50/38.1 1.062/26.9
POU-10-SV3

POU-10-HV3

POU-10-HSV3

Joint facial mâle/mâle de ½ po 5.00/127.0 1.50/38.1 1.062/26.9
POU-10-ST1 Tubes soudés bout à bout de ¼ po 5.00/127.0 1.50/38.1 N/D
POU-10-ST3 Tubes soudés bout à bout de ½ po 5.00/127.0 1.50/38.1 N/D
POU-30

Description de la pièce Type de raccord Un pouce/mm B po/mm C po/mm
POU-30-SV3 Joint facial mâle/mâle de ½ po 11.22/285.0 1.50/38.1 1.062/26.9
POU-30-ST3 Tubes soudés bout à bout de ½ po 11.22/285.0 1.50/38.1 N/D
POU-015

Description de la pièce Type de raccord Un pouce/mm B po/mm C po/mm
POU-015-SV1 Joint facial mâle/mâle ¼ po 5.00/127.0 0.75/19.0 0.812/20.6
POU-015-ST1 Tubes soudés bout à bout de ¼ po 5.00/127.0 0.75/19.0 N/D
POU-015-SV3 Joint facial mâle/mâle de ½ po 5.00/127.0 0.75/19.0 0.875/22.2

*Conceptions et accessoires personnalisés disponibles.

Courbes d'écoulement

Consultez les fiches techniques ou l'usine pour connaître les courbes de débit du filtre.

Nos capacités de conception

  • Courbes de débit/perte de charge et efficacité de filtration pour pratiquement toutes les conceptions de systèmes
  • Considérations sur la compatibilité des gaz
  • Supports filtrants, récipients sous pression et matériaux de montage personnalisés, y compris les configurations de filtres au point d'utilisation, disponibles

Produits et services

Expertise en conception – Du début à la fin, nous nous spécialisons dans la personnalisation des solutions en fonction de vos paramètres de conception – mettez-nous au défi de vous fournir les solutions de filtration au point d'utilisation adaptées à votre application.

Modélisation des fluides – Nos nombreuses applications ont permis de constituer une bibliothèque de données afin d'accroître la précision de nos modèles d'écoulement pour les filtres au point d'utilisation, fournissant ainsi des estimations initiales de performance et de faisabilité avant la construction de prototypes.

Vaste réseau de partenaires – Si un matériau n'est pas répertorié ou si une capacité n'est pas en interne, nous disposons d'un vaste réseau de partenaires pour l'approvisionnement en nouveaux matériaux, les capacités de fabrication avancées et les tests de validation des filtres au point d'utilisation.

Assistance technique – Comptez sur nos ingénieurs experts pour concevoir ou sélectionner les solutions de filtration optimales au point d'utilisation, adaptées aux besoins spécifiques de votre application.

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