Mott Corporation presenta el filtro sándwich GasShield HiFlow
Mott Corporation ha presentado el filtro sándwich GasShield HiFlow, diseñado para satisfacer las rigurosas demandas de la fabricación de semiconductores de próxima generación. A medida que la industria avanza más allá de la Ley de Moore, materiales como el molibdeno (Mo) se vuelven esenciales debido a sus propiedades superiores sobre el tungsteno tradicional, como menor resistividad y mayor resistencia a la electromigración.
La integración de molibdeno requiere deposición de capa atómica (ALD), que requiere soluciones de filtración especializadas para garantizar la estabilidad del proceso. El filtro sándwich GasShield HiFlow de Mott aborda esta necesidad al ofrecer:
- Alta retención de partículas:Más de 9 LRV a 1.5 nm según SEMI F38-0720.
- Construcción totalmente metálica:Elimina el desprendimiento y la desgasificación.
- Resistencia excepcional a la corrosión:Disponible con aleación C-22 para precursores halogenados.
- Estabilidad a alta temperatura: Hasta 460°C.
- Eficiencia de flujo superior:Caída de presión entre un 25 % y un 35 % menor en comparación con los filtros de disco tradicionales.
- Ultraalta pureza:Niveles de humedad inferiores a 10 ppb e hidrocarburos por debajo de los límites de detección.
- Diseño compacto:Dimensiones de 1.12″ x 1.12″ x 0.49″, lo que facilita la integración en diseños de herramientas estrechos y entornos de alta temperatura.
Además, el filtro garantiza caudales estables (variación de pieza a pieza ≤2 %) y viene con una garantía de fiabilidad de cinco años en condiciones de uso estándar. Su instalación plug-and-play admite opciones de sello C y sello W personalizado.
Paul Hofemann, experto técnico en semiconductores de Mott, afirmó: “El filtro sándwich GasShield HiFlow es un elemento fundamental para la fabricación More-than-Moore, ya que garantiza mayores rendimientos, procesos más limpios y un rendimiento más confiable en la deposición de molibdeno basada en ALD.."
