Filtros utilitarios y a granel de alta pureza Mott

Los filtros a granel y utilitarios de alta pureza de Mott proporcionan una filtración de 9 log de partículas tan pequeñas como 0.0015 μm, lo que garantiza un gas libre de partículas. Estos filtros de pureza ultra alta son ideales para manejar las temperaturas más altas que a menudo se encuentran aguas abajo de un purificador durante las operaciones de secado y calentamiento. Nuestros filtros y carcasas de gas a granel están diseñados para ofrecer un rendimiento y confiabilidad óptimos en aplicaciones exigentes.

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Un minuto de Mott | Albert Blank sobre la filtración de gases a granel de semiconductores

Albert Blank, Gerente del Programa de Innovación, destaca Mott Línea de productos de filtros a granel para filtración de gases semiconductoresCon la confianza de las principales empresas de gas y fabricantes de chips,

Los filtros a granel Mott ofrecen:

  • 99.9999999% de pureza para una alta confiabilidad
  • Integración perfecta en los sistemas de tuberías existentes
  • Soluciones llave en mano con tuberías, válvulas y controles
¿Tienes preguntas? Habla con nuestro ingeniero.

Especificaciones del producto

Condiciones de Operación

»Presión máxima de funcionamiento: hasta 650 psig (44.8 barg)

»Temperatura máxima de funcionamiento para gas inerte: hasta 450 ° C

»Presión diferencial máxima: hasta 250 psid (17.2 barg)

Materiales

»Hardware: 316L SS

»Medio de filtro: fibra SS 316L o níquel Penta®

» Acabado superficial de herrajes húmedos: 10 Ra

»Materiales personalizados también disponibles

Especificaciones
Tamaño de eliminación de partículas: ≥ 0.0015 μm
Clasificación de fuga de helio: 1 x 10-9 atm cc / seg
Contribución de humedad: <10 ppb después de 1 hora con purga ambiental de flujo bajo según el método de prueba SEMI F27
Hidrocarburos Totales: Por debajo de los límites detectables según el método de prueba ASTM F1398
Derramamiento de partículas: Contribución de cero partículas por encima del fondo (<1 partícula / pie³) según el método de prueba SEMI F43-0308
Datos de flujo

Los filtros a granel con flujos nominales de hasta 170,000 SLPM están disponibles. Consulte las hojas de fábrica o de especificaciones para obtener información sobre la curva de flujo.

Accesorios y dimensiones

BGF-310 y BGF-315

Descripción De Pieza Tipo de ajuste A en / mm B in / mm C in / mm
BGF-310-2TS-N-4M
BGF-310H-2TS-N-13M
Trozo de tubo de 2 " 17.95/455.9 3.00/76.2 2.00/50.8
BGF-310-1.5TS-N-4M Trozo de tubo de 1.5 " 24.39/619.5 3.00/76.2 1.50/38.1
BGF-310-1TS-N-4M Trozo de tubo de 1 " 25.17/639.3 3.00/76.2 1.00/25.4
BGF-315-2TS-N-6M Trozo de tubo de 2 " 22.98/583.7 3.00/76.2 2.00/50.8
BGF-315-1.5TS-N-6M Trozo de tubo de 1.5 " 29.42/747.3 3.00/76.2 1.50/38.1
BGF-315H-40A5S-N-15M JIS40A5S 21.26/540.0 3.00/76.2 1.91/48.5

 

BGF-610

Descripción De Pieza Tipo de ajuste A en / mm B in / mm C in / mm
BGF-610-4TS-N-19M
BGF-610H-4TS-N-30M
Trozo de tubo de 4 " 18.40/467.4 6.00/152.4 4.00/101.6
BGF-610-2TS-N-19M Trozo de tubo de 2 " 24.86/631.4 6.00/152.4 2.00/50.8
BGF-610-1.5TS-N-19M Trozo de tubo de 1.5 " 24.86/631.4 6.00/152.4 1.50/38.1
BGF-610-1TS-N-19M Trozo de tubo de 1 " 24.86/631.4 6.00/152.4 1.00/25.4

 

BGF-615

Descripción De Pieza Tipo de ajuste A en / mm B in / mm C in / mm
BGF-615-6TS-N-28M
BGF-615H-6TS-N-35M
BGF-615HF-6TS-N-60M
Trozo de tubo de 6 " 28.81/731.8 6.00/152.4 6.00/152.4
BGF-615-4TS-N-28M
BGF-615H-4TS-N-35M
BGF-615HF-4TS-N-60M
Trozo de tubo de 4 " 23.41/594.6 6.00/152.4 4.00/101.6
BGF-615-2TS-N-28M
BGF-615H-2TS-N-35M
BGF-615HF-2TS-N-60M
Trozo de tubo de 2 " 29.89/759.2 6.00/152.4 2.00/50.8

 

BGF-815

Descripción De Pieza Tipo de ajuste A en / mm B in / mm C in / mm
BGF-815HF-6TS-N-170M Trozo de tubo de 6 " 22.81/579.3 8.63/219.0 6.00/152.4

 

BGF12P23

Descripción De Pieza Tipo de ajuste A en / mm B in / mm C in / mm
BGF12P23-150A5S-F-175M JIS150A5S 39.40/1000.6 12.75/323.9 6.50/165.1

* Diseños personalizados y accesorios disponibles.

Nuestras capacidades de diseño

  • Curvas de caída de flujo / presión y eficiencia de filtración para prácticamente cualquier diseño de sistema
  • Consideraciones de compatibilidad de gas
  • Medios de filtro personalizados, recipiente a presión y material de ajuste y configuraciones disponibles

 

Servicios relevantes

Experiencia en diseñoDe principio a fin, personalizamos los filtros de gas a granel Mott según sus parámetros de diseño. ¡Desafíanos!

Certificaciones de calidad¿Necesita marcas de conformidad con estándares de salud, seguridad y medio ambiente como CE? Te tenemos cubierto.

Amplia red de socios Si un material de filtro de gas a granel no figura en la lista o no existe una capacidad interna, contamos con una extensa red de socios para la adquisición de materiales, fabricación avanzada y pruebas de validación.

Soporte de ingeniería - Nuestros ingenieros de proyectos están disponibles para consultarle sobre su proceso y ayudarlo a seleccionar el filtro de gas a granel ideal para su aplicación.

Preguntas frecuentes: filtros y filtración de gas a granel

P: ¿Qué es un filtro a granel en el contexto de aplicaciones de pureza ultraalta?

R: Un filtro a granel es un dispositivo de filtración especializado diseñado para manejar grandes volúmenes de gas, lo que garantiza la eliminación de contaminantes e impurezas, especialmente en aplicaciones de pureza ultraalta, como la fabricación de semiconductores.

P: ¿Cómo garantiza el filtro a granel de Mott una filtración de 9 registros?

R: Los filtros a granel de Mott están diseñados con tecnología avanzada de metales porosos, lo que les permite lograr una filtración de 9 registros. Los filtros Mott están fabricados con la más alta calidad y la porosidad de mayor precisión del mercado. Esto garantiza que el gas que pasa sea de la más alta pureza, libre de partículas y contaminantes.

P: ¿Son los filtros de gas a granel de Mott compatibles con varios gases de proceso de semiconductores?

R: Sí, los filtros de gas a granel de Mott están diseñados para ser compatibles con todos los gases de proceso de semiconductores de alta pureza, lo que garantiza versatilidad y confiabilidad en una variedad de aplicaciones desafiantes. Los filtros Mott se utilizan en los procesos de fabricación de chips semiconductores más desafiantes, incluidas tecnologías avanzadas de nodos < 7 nm.

P: ¿Cómo contribuyen los filtros de gas a granel de Mott a acelerar los tiempos de "secado"?

R: Los filtros de gas a granel de Mott están fabricados con materiales y diseños que permiten un "secado" rápido, lo que significa que logran un rendimiento óptimo en minutos en lugar de horas, lo que reduce el tiempo de inactividad y aumenta la eficiencia.

P: ¿Pueden los filtros de gas a granel de Mott manejar gases corrosivos?

R: Absolutamente. Los filtros a granel de Mott están disponibles en varios materiales, incluidos acero inoxidable, Hastelloy® y níquel Penta®, lo que los hace adecuados para manejar una variedad de gases, incluidos los corrosivos.