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POU-10-SGasShield®使用点过滤器

零件号:6800003、6800007、6800011、6800073不锈钢过滤介质和壳体使用点过滤器,流量范围60-150 […]

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POU-3-HGasShield®使用点过滤器

部件号:6800002、6800148 合金 22 过滤介质和外壳使用点过滤器,适用于流量范围 30-60 SLPM、OAL […]

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POU-3-HSGasShield®使用点过滤器

部件号:6800045、6800180 不锈钢外壳和合金 22 过滤介质使用点过滤器,流量范围为 30-60 […]

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POU-3-NSGasShield®使用点过滤器

零件编号:6800067镍过滤介质和316L不锈钢外壳使用点过滤器,流量范围30-60 SLPM,[…]

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POU-3-SGasShield®使用点过滤器

零件号:6800001,6800079不锈钢过滤介质和外壳使用点过滤器,流量范围30-60 SLPM,OAL […]

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POU-30-SGasShield®使用点过滤器

零件号:6800074,6800140不锈钢过滤介质和外壳使用点过滤器,流量范围200-300 SLPM,OAL […]

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Sentry系列Penta®镍POU气体过滤器

零件编号:6815001,6815004,6805005Penta®镍过滤介质和316L不锈钢硬件

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用于超高纯气体系统的低压降烧结金属过滤器

与用于半导体制造的其他POU气体过滤器相比,具有改进的性能的全金属过滤器白皮书。

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焊接气体吹扫跳线颗粒过滤器

焊接和焊接气体吹扫跨接微粒过滤器的SEMI标准。 使用金属纤维过滤器可提供最快,最[...]

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POU-05-H GasShield® 使用点气体过滤器

部件号:6800040 合金 22 过滤介质和外壳硬件使用点过滤器,流量范围高达 10 […]

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BGF315H GasShield® Penta® 散装气体过滤器

零件编号:6825164Penta®镍过滤介质和316L不锈钢外壳大容量气体过滤器,流量范围高达[…]

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DEF315HGasShield®Defender高流量气体过滤器

部件号:6712201、6712211 316L 不锈钢纤维过滤介质和 316L 不锈钢外壳使用点过滤器,用于 […]

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DEF4000GasShield®Defender高流量气体过滤器

零件号:6712501 316L不锈钢纤维过滤介质和316L不锈钢外壳使用点过滤器,用于流量[…]

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实现半导体制造中先进材料的超高纯气体过滤

关于 ALD 和 CVD 工艺中腐蚀性前体和 UHP 需求的超紧凑过滤技术白皮书

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GasShield垫片过滤器的安装和更换

GasShield®垫片过滤器说明安装和更换说明

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GasShield®扩散器操作和安装说明

Mott高纯度GasShield®扩散器产品的处理和安装说明

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GSP1500GasShield®Penta®实用线路滤波器

零件编号:6825075、6825080、6825081Penta®镍过滤介质和316L不锈钢外壳使用点过滤器,用于流量[…]

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POU-015-SGasShield®使用点过滤器

零件号:6800049、6800029、6800121不锈钢过滤介质和外壳使用点过滤器,流量范围为10-30 SLPM,[…]

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