GasShield® HiFlow™ 샌드위치 필터

ALD 및 첨단 소재 공정을 위한 초소형 고순도 여과

GasShield® HiFlow™ 샌드위치 필터는 최첨단 반도체 제조 공정에서 초고순도(UHP) 가스 공급을 위해 설계된 최초의 POU(Point of Use) 금속 섬유 필터입니다. 특허 출원 중인 컴팩트한 디자인은 원자층 증착(ALD) 및 More-than-Moore 아키텍처의 극한 요구 조건을 충족하며, 입자 유지력이나 신뢰성 저하 없이 획기적인 유량 성능을 제공합니다.

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GasShield® HiFlow™ 샌드위치 필터로 바꿔야 하는 이유는 무엇입니까?

압력 강하 대 처리량: 기존 필터는 흐름을 제한하지만, Mott의 디자인은 압력 강하를 25% 줄여 성능을 저하시키지 않고도 처리량을 향상시킵니다.
입자 포착 대 배치: 대부분의 필터는 중요한 입자를 놓치지만, Mott는 챔버에서 1.5nm까지 9 LRV 이상의 입자를 걸러내 결함을 최소화합니다.
성능 대 발자국: 고성능 필터는 종종 너무 부피가 큽니다. Mott의 컴팩트한 샌드위치 스타일 디자인은 타협 없이 좁은 공간에도 들어맞습니다.

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GasShield® HiFlow™ 샌드위치 필터 절단 시트 | Mott Corporation

Mott의 GasShield® HiFlow™ 샌드위치 필터에 대한 시트를 다운로드하세요. 이 필터는 컴팩트한 디자인, 1.5nm에서 9 LRV 이상, ALD 및 UHP 가스 공급을 위한 낮은 압력 강하를 제공합니다.

고순도 표면 실장 유량 제한 장치

Mott GSMR 시리즈 유량 제한 기는 1.125”고 유량 C-Seal 구성 가스 시스템을 지원합니다.

제품 사양

다른 필터와 비교

제품 특장점	GasShield HiFlow™	기존 필터
입자 보유	99.9999% @ 1.5nm	98.5% @ 10nm
유량 @ 1bar	2x 이상	Standard
도구 호환성	ALD, CVD, 에칭 등	ALD만

제품 특징

>9 LRV 여과 효율
1.5nm 크기의 입자까지 걸러내어 사용 시점에서 중요한 보호 기능을 보장합니다.

초소형 디자인
OEM 가스 상자와 도구 레이아웃에 완벽하게 통합되도록 설계된 공간 절약형 폼 팩터입니다.

낮은 압력 강하
독점적인 Alloy 22 섬유 매체를 사용하는 기존 디스크 필터와 비교했을 때 압력 강하가 최대 35% 감소했습니다.

모든 금속 구조
316L 스테인리스 스틸 또는 합금 22로 제작되었으며, 전해 연마 UHP 표면으로 탈락과 가스 발생을 방지합니다.

탁월한 열 안정성
최대 460°C까지 사용하도록 정격이 지정되어 고온 환경에서도 신뢰성이 보장됩니다.

어플리케이션

ALD 전구체 여과
가스 캐비닛 및 스틱
밸브 매니 폴드 박스
OEM 도구 가스 상자
도구 격리 가스 박스

성능 사양

속성	스펙
여과 효율	1.5nm에서 >9 LRV(SEMI F38-0720)
작동 압력	>750psig
작동 온도	최대 460 ° C
차압	최대 1000psid
누출률	1 × 10⁻⁹ 기압 cc/초
수분 기여	<10ppb(SEMI F27)
탄화수소	검출 한계 이하
입자 분리	배경 위에 기여도가 없음

주문 정보

부품 번호	자재	피팅 타입	크기 (가로 x 세로의 길이 x H)
6700065	316L SS	C-씰	1.12 "x 1.12"x 0.49 "
6700066	합금 22	C-씰	1.12 "x 1.12"x 0.49 "
6700067	316L SS	W-씰	1.12 "x 1.12"x 0.49 "
6700068	합금 22	W-씰	1.12 "x 1.12"x 0.49 "

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자주 묻는 질문

질문. GasShield® HiFlow™ 샌드위치 필터가 다른 UHP 필터와 다른 점은 무엇입니까?

업계 최초의 소형 샌드위치 설계를 적용한 POU(Point-of-Use) 금속 섬유 필터입니다. 낮은 압력 강하, 제로 미디어 마이그레이션, 그리고 탁월한 여과 효율을 자랑하며, ALD 및 More-than-Moore 디바이스 노드와 같이 수요가 높은 공정에 최적화되어 있습니다.

Q. 입자 크기는 어떻게 되나요?

GasShield® HiFlow™ 샌드위치 필터는 입자를 다음과 같이 유지합니다. 0.0015µm(1.5나노미터).
이 제품은 Mott의 독점적인 전금속 다공성 매체를 사용하여 유량을 희생하지 않고도 뛰어난 서브마이크론 입자 포집 성능을 제공합니다. ALD 및 첨단 반도체 공정에 필요한 정밀성에 적합합니다.

Q. 부식성 또는 반응성 가스와 호환이 되나요?

네. 필터의 전금속 구조(316L 스테인리스 스틸 또는 니켈 옵션)는 첨단 반도체 제조에 사용되는 반응성 및 부식성 가스를 포함한 다양한 초고순도 공정 가스와의 호환성을 보장합니다.

Q. 압력 정격과 온도 허용 오차는 어떻게 되나요?

GasShield® HiFlow™ 샌드위치 필터는 다음 사양을 갖춘 고성능 애플리케이션을 위해 설계되었습니다.

최대 작동 압력:
750psig(51.7barg)
불활성 가스의 최대 작동 온도: 460°
최대 차압: 1000psid(68.9bar)

이러한 등급은 까다로운 조건에서도 초고순도 가스 공급 시스템에서 필터의 신뢰성과 효율성을 보장합니다.

Q. 필요한 필터 크기나 구성을 어떻게 알 수 있나요?

더 자세한 정보를 원하시면 저희에게 연락하십시오.

환자 후기

"이 필터 덕분에 ALD 도구의 가동 시간이 28% 증가했습니다."

제품 개요
문헌 및 데이터 시트
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자주 묻는 질문