Mott의 Penta® 니켈 필터로 반도체 웨이퍼 Fab의 안전성 향상
Mott의 Penta® 니켈 다공성 금속 필터를 사용하여 반도체 웨이퍼 Fab의 안전성 향상
반도체 웨이퍼 제조(웨이퍼 제조)의 위험성이 높은 환경에서는 벌크 산소 가스 시스템의 안전성과 효율성을 보장하는 것이 가장 중요합니다. 이러한 안전성을 유지하는 데 있어서 중요한 측면 중 하나는 치명적인 오류를 방지하기 위해 고품질 필터 요소를 사용하는 것입니다. 모트 코퍼레이션의 Penta® 니켈 다공성 금속 필터 단열 압축 점화의 위험에 대해 탁월한 보호 기능을 제공하여 이러한 문제에 대한 효과적인 솔루션을 제공합니다.
반도체 웨이퍼 Fab의 이해
반도체 웨이퍼 팹 또는 웨이퍼 제조 시설은 실리콘 웨이퍼를 집적 회로(IC)로 변환하는 전문 처리 공장입니다. 이러한 시설은 스마트폰부터 의료 장비까지 다양한 장치에 전원을 공급하는 마이크로칩을 생산하는 데 필수적입니다. 가장 작은 오염 물질이라도 전체 웨이퍼 배치의 기능을 손상시킬 수 있기 때문에 웨이퍼 제조 시설에 요구되는 정밀도와 청결성은 비교할 수 없을 정도로 뛰어납니다.
단열 압축 점화의 위험성
단열 압축 점화 란 무엇입니까?
단열 압축종종 "가스 해머" 효과 또는 금속 화재라고도 불리는 는 밸브가 빠르게 열릴 때 고압 산소 시스템에서 발생합니다. 고압 배관으로 산소가 급속히 유입되면 다음 밸브나 조절기 근처의 배관 끝에서 단열 압축이 발생할 수 있습니다. 이로 인해 외부 열 입력 없이 압력과 온도가 일시적으로 급상승합니다. 온도가 상승하면 불연성 물질이 발화되어 치명적인 고장이 발생할 수 있습니다.
실제 영향
고압 산소 시스템은 테플론과 같이 높은 점화 에너지를 견딜 수 없는 재료를 사용할 때 단열 압축 점화에 특히 취약합니다. 부적절한 재료 선택으로 인해 폭발과 화재가 발생한 수많은 사건에서 볼 수 있듯이 결과는 파괴적일 수 있습니다.
이에 따르면 압축 가스 협회산소 파이프라인 및 배관 시스템에 대한 (CGA) 지침에 따르면, 필터 요소는 입자 보유 기능과 높은 표면적 대 부피 비율로 인해 중요한 관심 사항입니다. 따라서 이러한 요소에 대한 재료 선택은 발화 방지에 중요합니다.
Mott의 솔루션: Penta® 니켈 다공성 금속 필터
왜 니켈인가?
니켈은 플라스틱, 테플론 또는 316 스테인리스강에 비해 발화 온도가 높기 때문에 고압 산소 시스템에 사용하기에 탁월한 소재입니다. 또한 니켈의 높은 표면적은 방열판 역할을 하여 잠재적인 화염을 소멸시키고 발화를 방지합니다.
Penta® 니켈 필터의 주요 장점
- 소수성 특성: 니켈의 소수성 특성으로 인해 건조 시간이 크게 단축되어 몇 시간이 아닌 몇 분 만에 H10O 2ppb를 달성합니다.
- 우수한 여과: Mott의 Penta® 니켈 필터는 업계 표준인 1.5nm에 비해 3nm 여과를 제공하여 탁월한 오염 물질 제거를 보장합니다.
- 비용 효율성: 니켈 필터는 더 높은 유속에서 비용 면에서 테플론과 비슷하지만 더 오래 지속되는 더 높은 무결성 소재를 제공하므로 전체 소유 비용이 절감됩니다.
- 입증된 신뢰성: Penta® 니켈 미디어는 15년 이상 웨이퍼 제조 공정에서 입증되었으며 중요한 응용 분야에서 신뢰성과 효율성을 입증했습니다.
일반적인 함정 피하기
테프론 필터 앞에 니켈 스크린을 사용하는 것은 부적절한 해결책이며 잠재적으로 위험할 수 있습니다. 스크린은 단열 압력 형성으로 인한 고온을 줄이는 데 도움이 되지 않으며 여전히 발화로 이어질 수 있습니다. Mott의 Penta® 니켈 필터는 여과 및 온도 제어 요구 사항을 모두 해결하는 포괄적인 솔루션을 제공합니다.
Mott의 장점: GASSHIELD® 사용 시점 Penta® 니켈 벌크 필터
Mott의 GasShield® 사용 시점 Penta® 니켈 벌크 필터 반도체 웨이퍼 공장에서 벌크 산소 가스 시스템의 안전성과 성능을 향상시키도록 설계되었습니다. 이 필터는 다음을 제공합니다.
- 신속한 건조: 몇 시간이 아닌 몇 분 만에 10ppb의 H2O에 도달합니다.
- 고효율 여과: 탁월한 오염 물질 제거를 위한 1.5nm 여과.
- 입증된 성능: 웨이퍼 제조 부문에서 15년 이상의 신뢰성을 유지하고 있습니다.
- 다양한 유량: 1500 SLPM ~ 60,000 SLPM의 유량으로 제공됩니다.
- 비용 효율성: 더 높은 유량에서 비용 면에서 테플론과 비슷하며 더 내구성이 있고 오래 지속되는 솔루션을 제공합니다.
웨이퍼 팹의 안전과 효율성 보장
까다로운 반도체 웨이퍼 제조 환경에서 여과 재료와 기술의 선택은 안전성과 운영 효율성에 큰 영향을 미칠 수 있습니다. Mott의 Penta® 니켈 다공성 금속 필터는 고압 산소 시스템으로 인한 문제에 대해 견고하고 안정적이며 비용 효율적인 솔루션을 제공합니다.
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