Mott 정밀 고순도 유량 제한 장치로 웨이퍼 팹 가스 벤트 시스템에서 수백만 달러 절약

모트 프리시전 고순도 유량 제한기를 사용하면 치명적인 가스 누출 시 몇 시간이 아닌 몇 분 만에 유량을 줄일 수 있으며, SEMI S2 및 SEMI S6 가이드라인을 충족하고, 환기 시스템 구축 비용을 수백만 달러 절감할 수 있습니다. 또한 모트 프리시전 유량 제한기는 가스 흐름을 난류로 만들지 않아 질량 유량 컨트롤러, 압력 스위치, 트랜스듀서와 같은 중요 가스 제어 부품의 성능을 저하시키지 않습니다. 실제로 모트 다공성 금속 유량 제한기는 가스를 층류로 만들어 이러한 민감한 계측기의 성능을 향상시킵니다.

비용 및 인프라 이점

가스 격납 시스템 (즉, 밸브 매니 폴드 상자, 도구 격리 상자 및 가스 캐비닛) 내부에 정밀 흐름 제한기를 설치하여 치명적인 사건에서 가스 흐름을 제한하면 이러한 환기 식 격납 시스템에서 필요한 공기 교체 유속이 낮아집니다. 필요한 벤트 공기 흐름이 낮다는 것은 벤트 배관 크기가 더 작다는 것을 의미합니다. 더 작은 벤트 배관 크기를 사용하면 비용 효율적인 Mott Precision Flow Restrictor를 설치하여 서브 팹에서 공기 처리 및 저감 시스템에 이르는 모든 연결에서 비용을 크게 절감 할 수 있습니다.

몇 시간이 아닌 몇 분만에 환풍으로 인한 심각한 누출

Mott Precision Flow Restrictor는 치명적인 이벤트에서 가스 흐름을 제한하여 팹에서보다 안전한 환경을 조성합니다. 위의 차트에서 볼 수 있듯이 Mott Flow Restrictor가 설치된 상태에서 2,000 PSI에서 누출을 방출하는 시간은 약 3 분이며 Flow Restrictor가없는 시스템의 경우 1,000 분입니다.

일반적으로 Mott Precision Flow Restrictor는 질량 유량 제어기의 최대 유량 또는 필요한 공정 유량의 125 % 크기입니다. 가스 차단 상자, VMB 또는 실린더 캐비닛에 설치할 수 있습니다. 상자 내로의 가스 흐름을 제한하면 치명적인 가스 누출의 최대 흐름이 제한됩니다.

올바른 크기의 경우, Mott Precision Flow Restrictor는 다운 스트림 계측에 해로운 영향을주지 않고 가스 시스템에 설치할 수 있습니다. 실제로 Mott Precision Flow Restrictors는 가스를 층류로 조절하여 열 및 압력 기반 질량 유량 제어기의 성능을 향상시킵니다.

정밀한 배출 제한 장치는 부드러운 통풍에도 사용할 수 있습니다. 진공에서 대기로 챔버를 채우고 니들 밸브, 보정 된 오리피스 및 질량 유량 제어기를 교체합니다.

산업 표준 준수 – SEMI S2 및 SEMI S6 지침 충족

반도체 제조 장비의 배기 환기에 관한 SEMI S6 EHS 가이드라인 ¹ 에는 다음과 같이 명시되어 있습니다.

7.2.3.3.2 비고 24 초과 유량 밸브, 유량 스위치 및 유량 제한 기와 같은 공학적 제어를 사용하여 가용 유량을 제한함으로써 필요한 배기 환기를 줄일 수있다.

7.6.2 배기 환기 흐름 요구 사항은 배출 가능성에 크게 의존하기 때문에 장비 공급 업체는 필요한 배기 환기 흐름을 줄이기위한 수단으로 흐름 제한 장치 또는 초과 유량 밸브와 같은 사용 가능한 물질의 흐름을 제한하는 것을 고려해야합니다. .

SEMI S2 제조 설비 환경, 보건 및 안전 지침 ² 에는 다음과 같이 명시되어 있습니다.

22.2 장비 배기 환기는 § 23.5 및 SEMI S6에 따라 정상 작동, 유지 보수 또는 기타 고장시 화학 물질에 대한 잠재적 최악의 실제 직원 노출에 대해 효율적이고 안전하게 제어하기 위해 설계되고 환기 평가를 수행해야합니다. 장비 구성 요소 (하드웨어 또는 소프트웨어). 모든 설계 기준과 테스트 프로토콜은 인식 된 방법을 기반으로해야합니다.

^1. SEMI S2-1016b 2017년판 - 반도체 제조 장비에 대한 환경, 보건 및 안전 지침

^2. SEMI S6-0707 2007년판 – 반도체 제조 장비 배기 환기에 대한 EHS 지침

다공성 금속 흐름 제한 장치의 장점

Mott의 고순도 흐름 제한 장치는 반도체 제조를 위해 특별히 개발 된 고유 한 다공성 금속 매체를 사용하며 다음과 결합하여 작고 오래 지속되는 흐름 제어를 제공합니다.

사양에 맞게 설계

Mott는 고객께서 필요로 하시는 크기, 유량, 사용 환경에 맞는 가스 종류를 제공해 주시면, 고객의 요구에 맞춘 Mott 유량 제한기를 설계해 드립니다. 하류 유량 범위는 100 SLPM에서 <1×10⁻⁶ SCCM까지입니다 ^. Mott 유량 제한기는 표준 사양으로 최대 450°C(불활성 가스 기준)의 온도와 최대 120 psig의 압력을 견딜 수 있으며, 요청 시 최대 1500 psig까지 제작 가능합니다.

 

비용 효율적인 설계

Mott의 간단한 Flow Restrictor 설계는 표준 피팅 내부에 다공성 금속 요소로 구성되어 최소 비용으로 최대 강도와 안정성을 제공합니다.

모든 금속 구조

100 % 스테인리스 스틸로 제작 된 다공성 금속 요소가 1/4 인치면 씰 피팅에 영구적으로 부착됩니다. 다른 합금 및 구성을 사용할 수 있습니다. 입자를 구부리거나 흘릴 수있는 엘라스토머 또는 기타 비금속 재료는 없습니다.

고정 및 변조 방지 성능

각 Mott Flow Restrictor는 제품 수명 동안 지정된 다운 스트림 흐름을 제공합니다. 움직이는 부품이나 잠재적 인 운전자 조정이 없어 성능이 저하 될 수 있습니다.

 

 

층류로 막힘없는 성능

다공성 금속 요소는 내부 채널의 전체 폭에 걸쳐있어 유속을 증가 시키거나 불규칙한 유동 경로를 생성하지 않고도 가스가 수백 개의 마이크로 채널을 통해 이동할 수 있습니다. 하류 흐름은 매끄럽고 일정하며, 매질이 마찰로 마모되거나 산발적 입자에 노출 될 때 막히지 않습니다

 

Mott Flow Restrictor를 통한 고급 안전 및 비용 절감

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당사의 전문가 팀은 시간을 절약하고 비용을 절감하며 시스템 성능을 향상시킬 수 있는 올바른 솔루션을 선택하는 데 도움을 드릴 준비가 되어 있습니다. 지금 연락하여 Mott의 최첨단 기술로 가스 벤트 시스템을 최적화하기 위한 첫 걸음을 내딛으십시오.