GasShield® HiFlow™ サンドイッチ フィルター
ALDおよび先端材料プロセス向け超小型高純度ろ過
GasShield® HiFlow™サンドイッチフィルターは、最先端の半導体製造における超高純度（UHP）ガス供給向けに設計された、業界初のポイントオブユース（POU）金属繊維フィルターです。特許出願中のコンパクトな設計は、原子層堆積（ALD）やMore-than-Mooreアーキテクチャの厳しい要求にも対応し、パーティクル保持性能や信頼性を損なうことなく、画期的な流量性能を実現します。
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GasShield® HiFlow™ サンドイッチ フィルターに切り替える理由は何ですか?
- 圧力損失とスループット: 従来のフィルターは流れを制限しますが、Mott の設計では圧力降下が 25% 低減され、パフォーマンスを犠牲にすることなくスループットが向上します。
- 粒子の捕捉と配置: ほとんどのフィルターは重要な部分で粒子を見逃しますが、Mott はチャンバー内で 1.5nm まで 9 を超える LRV 保持を実現し、欠陥を最小限に抑えます。
- パフォーマンスとフットプリント: 高性能フィルターは大きすぎる場合が多くありますが、Mott のコンパクトなサンドイッチ スタイルの設計は、狭いスペースにも妥協なくフィットします。
GasShield® HiFlow™ サンドイッチフィルター カットシート | Mott Corporation
Mott の GasShield® HiFlow™ サンドイッチ フィルターのカットシートをダウンロードしてください。コンパクトな設計、1.5nm で >9 LRV、ALD および UHP ガス供給の低圧力降下を実現します。
高純度表面実装フローリストリクター
モットGSMRシリーズフローリストリクターは、1.125インチのハイフローCシール構成ガスシステムをサポートします。
製品の仕様
| 他のフィルターとの比較 |
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| 製品の特徴 |
>9 LRVろ過効率 超コンパクト設計 圧力損失の低減 オールメタル構造 優れた熱安定性 |
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| 用途 |
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| 性能仕様 |
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| オーダー情報 |
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| 寸法 |
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| ツールでテストする準備はできましたか? |
よくあるご質問
Q. GasShield® HiFlow™ サンドイッチ フィルターは他の UHP フィルターと何が違うのですか?
業界初となるコンパクトなサンドイッチ構造のポイントオブユース型金属繊維フィルターです。低圧力損失、媒体移動ゼロ、そして比類のないろ過効率を誇り、ALDやMore-than-Mooreデバイスノードといった高負荷プロセスに最適化されています。
Q. どのくらいの粒子サイズを保持しますか？
GasShield® HiFlow™サンドイッチフィルターは、 0.0015 µm (1.5 ナノメートル).
この製品は、モットの独自の全金属多孔質媒体を備えており、流量を犠牲にすることなく、サブミクロン粒子の優れた捕捉を実現しており、ALD および高度な半導体プロセスで要求される精度に最適です。
Q. 腐食性ガスや反応性ガスに対応していますか?
はい。フィルターはオールメタル構造（316Lステンレス鋼またはニッケルオプション）のため、高度な半導体製造で使用される反応性ガスや腐食性ガスを含む、幅広い超高純度プロセスガスとの互換性を確保しています。
Q. 圧力定格と温度許容範囲はどれくらいですか?
GasShield® HiFlow™ サンドイッチ フィルターは、次の仕様を備えた高性能アプリケーション向けに設計されています。
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最大動作圧力：
750 psig（51.7 barg） -
不活性ガス使用時の最高動作温度：460℃
- 最大差圧: 1000 psid（68.9 bar）
これらの評価により、厳しい条件下でも超高純度ガス供給システムにおけるフィルターの信頼性と効率性が保証されます。
Q. 必要なフィルターのサイズや構成はどうすればわかりますか?
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