モットプレシジョン高純度フローリストリクターがウエハーファブガスベントシステムの数百万を節約

Mott Precisionの高純度流量制限器を使用すれば、壊滅的なガス漏れの流量を数時間ではなく数分で削減でき、SEMI S2およびSEMI S6ガイドラインを満たし、エアベントの必要性を低減することで、ベントシステムの構築コストを数百万ドル節約できます。さらに、Mott Precisionの流量制限器は、マスフローコントローラー、圧力スイッチ、トランスデューサーなどの重要なガス制御コンポーネントの性能を低下させる可能性のある乱流ガス流を引き起こしません。実際、Mottの多孔質金属流量制限器はガスを層流に調整し、これらの高感度機器の性能を向上させます。

コストとインフラストラクチャの利点

ガス封じ込めシステム（バルブマニホールドボックス、ツールアイソレーションボックス、ガスキャビネットなど）内に精密流量制限器を取り付けて、壊滅的な事態が発生した場合のガス流量を制限すると、これらのベント式封じ込めシステムで必要な空気交換流量が低下します。 必要なベントエアフローが低いということは、ベント配管のサイズが小さいことを意味します。 ベント配管のサイズを小さくすると、サブファブから空調および除害システムまでのすべての接続で、費用効果の高いMott Precision Flow Restrictorをインストールすることで、コストを大幅に節約できます。

壊滅的なリークを数時間ではなく数分でベント

モットプレシジョンフローリストリクターは、壊滅的なイベントでガスの流れを制限することにより、ファブでより安全な環境を作成するのに役立ちます。 上のグラフからわかるように、モットフローリストリクターを取り付けた場合、2,000 PSIでリークをベントする時間は約3分ですが、フローリストリクターのないシステムでは1,000分です。

一般的な経験則として、モットプレシジョンフローリストリクターは、マスフローコントローラーの最大流量または必要なプロセスフローの125％のサイズです。 それらはガス隔離箱、VMBまたはシリンダーキャビネットに取付けることができます。 ボックスへのガス流量を制限すると、壊滅的なガス漏れの最大流量が制限されます。

サイズが適切であれば、モットプレシジョンフローリストリクターは、下流の計装に悪影響を与えることなくガスシステムに設置できます。 実際、モットプレシジョンフローリストリクターはガスを層流に調整し、熱および圧力ベースのマスフローコントローラーのパフォーマンスを向上させます。

プレシジョンフローリストリクターはソフトベントにも使用できます。 真空から大気へのチャンバーの充填、ニードルバルブ、校正済みオリフィス、マスフローコントローラーの交換。

業界標準への準拠 - SEMI S2 および SEMI S6 ガイドラインへの準拠

SEMI S6 EHSガイドライン（半導体製造装置の排気換気に関するガイドライン）¹には、次のように記載されています。

7.2.3.3.2注記24過剰流量バルブ、フロースイッチ、フローリストリクターなどのエンジニアリングコントロールを使用して、利用可能な流量を制限し、必要な排気換気を減らすことができます。

7.6.2排気換気量の要件は潜在的な放出に強く依存するため、機器のサプライヤーは、必要な排気換気量を削減する手段として、フローリストリクターや過剰流量バルブなど、懸念物質の利用可能な流れを制限することを検討する必要があります。 。

SEMI S2製造装置に関する環境・健康・安全ガイドライン²には、次のように記載されています。

22.2機器の排気換気を設計し、換気の評価を§23.5とSEMI S6の両方に従って実施して、通常の操作、保守、またはその他の作業中に化学物質への潜在的な最悪の場合の現実的な従業員の曝露を制御する機器コンポーネント（ハードウェアまたはソフトウェア）。 すべての設計基準とテストプロトコルは、認められた方法に基づいている必要があります。

¹ SEMI S2-1016b 2017年版 - 半導体製造装置に関する環境、健康および安全ガイドライン

² SEMI S6-0707 2007年版 – 半導体製造装置の排気換気に関するEHSガイドライン

多孔質金属流量制限装置の利点

モットの高純度フローリストリクターは、半導体製造用に特別に開発された独自の多孔質金属媒体を使用し、コンパクトで長持ちするフロー制御を提供します。

仕様に合わせて設計

お客様は、必要なサイズ、流量、環境で使用されるガスの種類をMottにお知らせいただければ、お客様のニーズに合わせてMott流量制限器を設計いたします。下流側の流量範囲は100 SLPMから1×10⁻⁶ SCCM未満までです^。Mott流量制限器は、標準で450℃（不活性ガス）までの持続的な温度と120 psigまでの圧力に耐え、ご要望に応じて最大1500 psigまで対応可能です。

 

費用対効果の高い設計

モットのシンプルなフローリストリクターの設計は、標準フィッティング内の多孔質金属エレメントで構成されており、最小のコストで最大の強度と信頼性を提供します。

全金属工事

100％ステンレス鋼で構成され、1/4インチのフェイスシール継手に恒久的に固定された多孔質金属要素。 他の合金と構成が利用可能です。 粒子を曲げたり流したりする可能性のあるエラストマーやその他の非金属材料はありません。

修正された改ざん防止性能

各モットフローリストリクターは、製品の寿命の間、指定された下流のフローを提供します。 動作を妨げる可能性のある可動部品や潜在的なオペレーター調整はありません。

 

 

層流を伴う、目詰まりのないパフォーマンス

多孔性の金属要素は内部チャネルの全幅に広がり、流速を上げたり、不規則な流路を作成したりすることなく、ガスが数百のマイクロチャネルを通過できるようにします。 下流の流れはスムーズで一定であり、メディアは摩擦から摩耗したり、散発的な粒子に曝されても詰まりません

 

モット流量制限装置による高度な安全性と節約

半導体製造における効率性と安全性を向上させる準備はできていますか？Mott Corporationまで今すぐお問い合わせください。当社の高精度流量制限器の詳細、およびお客様の特定の要件に合わせてカスタマイズする方法について詳しくご説明いたします。

当社の専門家チームは、時間を節約し、コストを削減し、システムのパフォーマンスを向上させるための適切なソリューションの選択をお手伝いいたします。今すぐ連絡を取り、モットの最先端テクノロジーを使用してガスベントシステムを最適化するための最初の一歩を踏み出しましょう。