Filtre sandwich GasShield® HiFlow™
Filtration ultra-compacte et haute pureté pour les procédés ALD et les matériaux avancés
Le filtre sandwich GasShield® HiFlow™ est le tout premier filtre à fibres métalliques au point d'utilisation conçu pour l'alimentation en gaz ultra-pur (UHP) dans la fabrication de semi-conducteurs de pointe. Sa conception compacte, en instance de brevet, répond aux exigences extrêmes des architectures de dépôt par couche atomique (ALD) et de More-than-Moore, offrant des performances de débit exceptionnelles sans compromettre la rétention des particules ni la fiabilité.
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Pourquoi passer au filtre sandwich GasShield® HiFlow™ ?
- Chute de pression par rapport au débit : Les filtres traditionnels limitent le débit — la conception de Mott offre une perte de pression inférieure de 25 %, améliorant le débit sans sacrifier les performances.
- Capture de particules vs. placement : La plupart des filtres manquent les particules là où cela compte : Mott fournit une rétention >9 LRV jusqu'à 1.5 nm directement dans la chambre, minimisant ainsi les défauts.
- Performances vs. Empreinte : Les filtres hautes performances sont souvent trop encombrants — la conception compacte de type sandwich de Mott s'adapte aux espaces restreints sans compromis.
Feuille de filtre sandwich GasShield® HiFlow™ | Mott Corporation
Téléchargez la fiche technique du filtre sandwich Mott's GasShield® HiFlow™ : conception compacte, >9 LRV à 1.5 nm et faible perte de charge pour l'alimentation en gaz ALD et UHP.
Limiteurs de débit à montage en surface de haute pureté
Les limiteurs de débit de la série Mott GSMR prennent en charge les systèmes de gaz à configuration C-Seal à haut débit de 1.125".
Spécifications du produit
| Comment il se compare aux autres filtres |
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| Caractéristiques du produit |
>9 Efficacité de filtration LRV Conception ultra-compacte Chute de pression inférieure Construction tout en métal Stabilité thermique exceptionnelle |
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| Applications |
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| Caractéristiques de performances |
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| Informations de commande |
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| Dimensions |
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Vidéos et articles
FAQ
Q. Qu'est-ce qui différencie le filtre sandwich GasShield® HiFlow™ des autres filtres UHP ?
Il s'agit du premier filtre à fibres métalliques au point d'utilisation du secteur, doté d'une conception sandwich compacte. Avec une faible perte de charge, une migration de média nulle et une efficacité de filtration inégalée, il est optimisé pour les procédés exigeants comme les nœuds ALD et More-than-Moore.
Q. Quelle granulométrie retient-il ?
Le filtre sandwich GasShield® HiFlow™ retient les particules jusqu'à 0.0015 µm (1.5 nanomètres).
Il est doté du support poreux entièrement métallique exclusif de Mott, offrant une capture exceptionnelle des particules submicroniques sans sacrifier le débit, parfait pour la précision requise dans les processus ALD et semi-conducteurs avancés.
Q. Est-il compatible avec les gaz corrosifs ou réactifs ?
Oui. La construction entièrement métallique du filtre (options acier inoxydable 316L ou nickel) garantit sa compatibilité avec une large gamme de gaz de procédé ultra-purs, y compris les gaz réactifs et corrosifs utilisés dans la fabrication avancée de semi-conducteurs.
Q. Quelle est la pression nominale et la tolérance de température ?
Le filtre sandwich GasShield® HiFlow™ est conçu pour les applications hautes performances avec les spécifications suivantes :
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Pression de service maximale:
750 psig (51.7 barg) -
Température maximale de fonctionnement du gaz inerte : 460 °
- Pression différentielle maximale: 1000 psid (68.9 bar)
Ces cotes garantissent la fiabilité et l'efficacité du filtre dans les systèmes de distribution de gaz de très haute pureté, même dans des conditions exigeantes.
Q. Comment puis-je savoir de quelle taille ou configuration de filtre j'ai besoin ?
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