Les limiteurs de débit haute pureté Mott Precision permettent d'économiser des millions sur les systèmes d'évacuation des gaz de fabrication de plaquettes
Avec Mott Limiteurs de débit de précision haute pureté Vous pouvez réduire le débit d'une fuite de gaz catastrophique en quelques minutes, au lieu de plusieurs heures, respecter les normes SEMI S2 et SEMI S6 et réduire les exigences en matière de ventilation, vous permettant ainsi d'économiser des millions sur la construction de votre système de ventilation. De plus, les limiteurs de débit de précision Mott ne provoquent pas de turbulences dans le flux de gaz, ce qui pourrait diminuer les performances des composants critiques de contrôle du gaz, tels que les régulateurs de débit massique, les pressostats et les transducteurs. En effet, les limiteurs de débit en métal poreux Mott conditionnent le gaz en un flux laminaire, améliorant ainsi les performances de ces instruments sensibles.
Avantages en termes de coûts et d'infrastructures
L'installation de limiteurs de débit de précision à l'intérieur des systèmes de confinement de gaz (c.-à-d., boîte à vannes, boîte d'isolation des outils et armoire à gaz) pour limiter le débit de gaz en cas de catastrophe réduira le débit de renouvellement d'air nécessaire dans ces systèmes de confinement ventilés. Un débit d'air de ventilation réduit implique des tuyaux de ventilation de plus petite taille. Grâce à des tuyaux de ventilation de plus petite taille, vous pouvez réaliser des économies substantielles sur tous les raccordements, de la sous-fabrication aux systèmes de traitement et de réduction de l'air, grâce à l'installation d'un limiteur de débit de précision Mott économique.
Éliminez les fuites catastrophiques en quelques minutes, et non en quelques heures
Les limiteurs de débit de précision Mott contribuent à créer un environnement plus sûr dans votre usine en limitant le débit de gaz en cas de catastrophe. Comme le montre le tableau ci-dessus, avec un limiteur de débit Mott installé, le temps nécessaire pour purger une fuite à 2 000 PSI est d'environ 3 minutes, contre 1 000 minutes dans un système sans limiteur de débit.
En règle générale, les limiteurs de débit de précision Mott sont dimensionnés à 125 % du débit maximal du régulateur de débit massique, ou du débit de procédé requis. Ils peuvent être installés dans le boîtier d'isolation de gaz, le VMB ou l'armoire à bouteilles. Limiter le débit de gaz dans le boîtier limitera le débit maximal en cas de fuite de gaz catastrophique.
Correctement dimensionné, le limiteur de débit de précision Mott peut être installé dans le système de gaz sans impact négatif sur l'instrumentation en aval. En effet, les limiteurs de débit de précision Mott conditionnent le gaz en un écoulement laminaire, améliorant ainsi les performances des régulateurs de débit massique thermiques et de pression.
Les limiteurs de débit de précision peuvent également être utilisés dans la ventilation douce ; le remplissage des chambres du vide à l'atmosphère, en remplacement des vannes à pointeau, des orifices calibrés et des contrôleurs de débit massique.
Conformité aux normes de l'industrie – Conformité aux directives SEMI S2 et SEMI S6
Directive SEMI S6 EHS pour la ventilation par aspiration des équipements de fabrication de semi-conducteurs1 États:
7.2.3.3.2 NOTE 24 Des contrôles techniques, tels que des vannes de débit excessif, des interrupteurs de débit et des limiteurs de débit, peuvent être utilisés pour limiter le débit disponible et, ainsi, réduire la ventilation par extraction requise.
7.6.2 Étant donné que les exigences de débit de ventilation par extraction dépendent fortement du rejet potentiel, le fournisseur d'équipement doit envisager de limiter le débit disponible de substances préoccupantes, par exemple à l'aide de limiteurs de débit ou de soupapes de débit excessif, afin de réduire le débit de ventilation par extraction requis.
Directive SEMI S2 sur l'environnement, la santé et la sécurité des équipements de fabrication2 États:
22.2 La ventilation des équipements doit être conçue et une évaluation de la ventilation doit être réalisée conformément aux articles 23.5 et SEMI S6, afin de contrôler efficacement et en toute sécurité les expositions potentielles des employés aux produits chimiques dans les pires scénarios réalistes, lors du fonctionnement normal, de la maintenance ou de la défaillance d'autres composants de l'équipement (matériels ou logiciels). Tous les critères de conception et protocoles d'essai doivent être basés sur des méthodes reconnues.
1SEMI S2-1016b Édition 2017 - Guide de sécurité, d'hygiène et de santé pour les équipements de fabrication de semi-conducteurs
2SEMI S6-0707 Édition 2007 – Directive EHS pour la ventilation des équipements de fabrication de semi-conducteurs
Les avantages des limiteurs de débit en métal poreux
Les limiteurs de débit haute pureté de Mott utilisent un support métallique poreux unique développé spécifiquement pour la fabrication de semi-conducteurs et offrent un contrôle de débit compact et durable associé à :
Concevez selon vos spécifications
Vous fournissez à Mott la taille, le débit et les gaz utilisés dans votre environnement requis, et nous concevons le limiteur de débit Mott selon vos besoins. Les débits en aval varient de 100 SLPM à < 1 × 10-6 Les restricteurs SCCM. Mott résistent à des températures soutenues jusqu'à 450 °C (gaz inerte) et à des pressions jusqu'à 120 psig (standard) ; jusqu'à 1 500 psig sur demande.
Conception économique
La conception simple du limiteur de débit de Mott consiste en un élément métallique poreux à l'intérieur d'un raccord standard, offrant une résistance et une fiabilité maximales à un coût minimum.
Construction entièrement métallique
Éléments métalliques poreux 100 % acier inoxydable et fixés de manière permanente à des raccords à joint d'étanchéité de 6,35 mm (1/4 po). D'autres alliages et configurations sont disponibles. Aucun élastomère ni autre matériau non métallique susceptible de fléchir ou de libérer des particules n'est utilisé.
Performances fixes et inviolables
Chaque limiteur de débit Mott assure le débit aval spécifié pendant toute sa durée de vie. Il ne comporte aucune pièce mobile ni aucun réglage potentiel de l'opérateur susceptible d'altérer les performances.
Performances sans obstruction, avec flux laminaire
L'élément métallique poreux s'étend sur toute la largeur du canal interne, permettant aux gaz de circuler à travers des centaines de microcanaux sans augmenter la vitesse d'écoulement ni créer de trajectoires irrégulières. L'écoulement en aval est régulier et constant, et le média ne s'use pas par frottement ni ne se colmate en cas d'exposition sporadique à des particules.
Sécurité et économies avancées avec les limiteurs de débit Mott
Êtes-vous prêt à améliorer l’efficacité et la sécurité de vos opérations de semi-conducteurs ? Contactez Mott Corporation dès aujourd'hui pour en savoir plus sur nos limiteurs de débit de précision et sur la manière dont ils peuvent être adaptés pour répondre à vos besoins spécifiques.
Notre équipe d'experts est là pour vous aider à choisir la solution idéale pour gagner du temps, réduire vos coûts et améliorer les performances de vos systèmes. Contactez-nous dès maintenant et faites le premier pas vers l'optimisation de vos systèmes d'évacuation des gaz grâce à la technologie de pointe de Mott.
