Filtro sándwich GasShield® HiFlow™
Filtración ultracompacta de alta pureza para procesos ALD y materiales avanzados
El filtro sándwich GasShield® HiFlow™ es el primer filtro de fibra metálica para punto de uso diseñado para el suministro de gases de ultraalta pureza (UHP) en la fabricación de semiconductores de vanguardia. Su diseño compacto, con patente en trámite, satisface las exigencias extremas de las arquitecturas de deposición atómica en capas (ALD) y More-than-Moore, ofreciendo un rendimiento de flujo excepcional sin comprometer la retención de partículas ni la fiabilidad.
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¿Por qué cambiar al filtro sándwich GasShield® HiFlow™?
- Caída de presión vs. Rendimiento: Los filtros tradicionales restringen el flujo; el diseño de Mott ofrece una caída de presión un 25 % menor, lo que mejora el rendimiento sin sacrificar el rendimiento.
- Captura vs. Colocación de Partículas: La mayoría de los filtros dejan pasar partículas donde más importan: Mott proporciona una retención de >9 LRV hasta 1.5 nm directamente en la cámara, lo que minimiza los defectos.
- Rendimiento vs. Huella: Los filtros de alto rendimiento suelen ser demasiado voluminosos: el diseño compacto tipo sándwich de Mott se adapta a espacios reducidos sin concesiones.
Hoja de corte del filtro sándwich GasShield® HiFlow™ | Mott Corporation
Descargue la hoja de corte del filtro sándwich GasShield® HiFlow™ de Mott: diseño compacto, >9 LRV a 1.5 nm y baja caída de presión para suministro de gas ALD y UHP.
Restrictores de flujo de montaje en superficie de alta pureza
Los limitadores de flujo de la serie Mott GSMR son compatibles con los sistemas de gas de configuración C-Seal de alto flujo de 1.125 ”.
Especificaciones del producto
| Cómo se compara con otros filtros |
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| Características del producto |
>9 Eficiencia de filtración LRV Diseño ultracompacto Caída de presión más baja Construcción totalmente metálica Estabilidad térmica excepcional |
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| Aplicaciones |
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| Especificaciones de rendimiento |
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| Información sobre pedidos |
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| Dimensiones |
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| ¿Listo para probarlo en tu herramienta? |
Videos y artículos
Preguntas Frecuentes
P. ¿Qué hace que el filtro sándwich GasShield® HiFlow™ sea diferente de otros filtros UHP?
Es el primer filtro de fibra metálica de punto de uso de la industria con un diseño compacto tipo sándwich. Con baja caída de presión, cero migración de medios y una eficiencia de filtración inigualable, está optimizado para procesos de alta demanda como ALD y nodos de dispositivos More-than-Moore.
P. ¿Qué tamaño de partícula retiene?
El filtro sándwich GasShield® HiFlow™ retiene partículas de hasta 0.0015 µm (1.5 nanómetros).
Cuenta con medios porosos totalmente metálicos patentados de Mott, que brindan una captura excepcional de partículas submicrónicas sin sacrificar la velocidad de flujo, perfecto para la precisión requerida en ALD y procesos de semiconductores avanzados.
P. ¿Es compatible con gases corrosivos o reactivos?
Sí. La construcción totalmente metálica del filtro (opciones de acero inoxidable 316L o níquel) garantiza la compatibilidad con una amplia gama de gases de proceso de pureza ultra alta, incluidos los gases reactivos y corrosivos utilizados en la fabricación avanzada de semiconductores.
P. ¿Cuál es la clasificación de presión y la tolerancia de temperatura?
El filtro sándwich GasShield® HiFlow™ está diseñado para aplicaciones de alto rendimiento con las siguientes especificaciones:
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Presión máxima de funcionamiento:
750 psig (51.7 bar) -
Temperatura máxima de funcionamiento para gas inerte: 460°
- Presión diferencial máxima: 1000 psid (68.9 bar)
Estas clasificaciones garantizan la confiabilidad y eficiencia del filtro en sistemas de suministro de gas de pureza ultra alta, incluso en condiciones exigentes.
P. ¿Cómo sé qué tamaño o configuración de filtro necesito?
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