GasShield® HiFlow™ Sandwichfilter
Ultrakompakte, hochreine Filtration für ALD- und Advanced-Materials-Prozesse
Der GasShield® HiFlow™ Sandwichfilter ist der erste Metallfaserfilter für den Einsatz am Einsatzort, der für die Gaszufuhr mit ultrahoher Reinheit (UHP) in der hochmodernen Halbleiterfertigung entwickelt wurde. Sein kompaktes, zum Patent angemeldetes Design bewältigt die extremen Anforderungen der Atomlagenabscheidung (ALD) und von More-than-Moore-Architekturen und bietet bahnbrechende Durchflussleistung ohne Kompromisse bei Partikelrückhaltung oder Zuverlässigkeit.
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Warum auf den GasShield® HiFlow™ Sandwichfilter umsteigen?
- Druckabfall vs. Durchsatz: Herkömmliche Filter schränken den Durchfluss ein – das Design von Mott sorgt für einen um 25 % geringeren Druckabfall und verbessert den Durchsatz ohne Leistungseinbußen.
- Partikelerfassung vs. Platzierung: Die meisten Filter übersehen Partikel dort, wo es darauf ankommt – Mott bietet eine LRV-Retention von >9 bis hinunter zu 1.5 nm direkt in der Kammer und minimiert so Defekte.
- Leistung vs. Platzbedarf: Hochleistungsfilter sind oft zu sperrig – das kompakte Sandwich-Design von Mott passt ohne Kompromisse in enge Räume.
GasShield® HiFlow™ Sandwichfilter-Einzelblatt | Mott Corporation
Laden Sie das Datenblatt für den GasShield® HiFlow™ Sandwichfilter von Mott herunter – kompaktes Design, >9 LRV bei 1.5 nm und geringer Druckabfall für die ALD- und UHP-Gaszufuhr.
Hochreine oberflächenmontierte Durchflussbegrenzer
Die Durchflussbegrenzer der Mott GSMR-Serie unterstützen die 1.125-Zoll-C-Seal-Konfigurationsgassysteme mit hohem Durchfluss.
Produktspezifikation
| Vergleich mit anderen Filtern |
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| Produkt-Eigenschaften |
>9 LRV-Filtrationseffizienz Ultra-kompaktes Design Geringerer Druckabfall Ganzmetallbau Außergewöhnliche thermische Stabilität |
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| Anwendungen |
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| Leistungsbeschreibungen |
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| Bestellinformationen |
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| Abmessungen |
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| Bereit, es in Ihrem Tool zu testen? |
Videos & Artikel
Häufig gestellte Fragen
F: Was unterscheidet den GasShield® HiFlow™ Sandwichfilter von anderen UHP-Filtern?
Es handelt sich um den branchenweit ersten Point-of-Use-Metallfaserfilter in kompakter Sandwich-Bauweise. Mit geringem Druckabfall, null Medienmigration und unübertroffener Filtrationseffizienz ist er für anspruchsvolle Prozesse wie ALD und More-than-Moore-Geräteknoten optimiert.
F: Welche Partikelgröße wird zurückgehalten?
Der GasShield® HiFlow™ Sandwichfilter hält Partikel bis zu 0.0015 µm (1.5 Nanometer).
Es verfügt über Motts proprietäres, vollständig aus Metall bestehendes poröses Medium, das eine außergewöhnliche Erfassung von Partikeln im Submikronbereich ermöglicht, ohne die Durchflussrate zu beeinträchtigen – perfekt für die Präzision, die bei ALD- und fortschrittlichen Halbleiterprozessen erforderlich ist.
F: Ist es mit korrosiven oder reaktiven Gasen kompatibel?
Ja. Die Vollmetallkonstruktion des Filters (optional Edelstahl 316L oder Nickel) gewährleistet die Kompatibilität mit einer Vielzahl von Prozessgasen mit ultrahoher Reinheit, einschließlich reaktiver und korrosiver Gase, die in der modernen Halbleiterfertigung verwendet werden.
F: Wie hoch ist die Druckstufe und Temperaturtoleranz?
Der GasShield® HiFlow™ Sandwichfilter ist für Hochleistungsanwendungen mit den folgenden Spezifikationen konzipiert:
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Maximaler Betriebsdruck:
750 psig (51.7 Barg) -
Maximale Betriebstemperatur für Inertgas: 460°
- Maximaler Differenzdruck: 1000 psid (68.9 bar)
Diese Bewertungen gewährleisten die Zuverlässigkeit und Effizienz des Filters in Gasversorgungssystemen mit ultrahoher Reinheit, selbst unter anspruchsvollen Bedingungen.
F: Woher weiß ich, welche Filtergröße oder -konfiguration ich benötige?
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