Hochreine Durchflussbegrenzer von Mott Precision sparen Millionen bei Wafer Fab-Gasentlüftungssystemen
Mit den hochreinen Durchflussbegrenzern von Mott Precision können Sie den Austritt eines katastrophalen Gaslecks innerhalb von Minuten statt Stunden reduzieren, die Richtlinien SEMI S2 und SEMI S6 erfüllen und den Bedarf an Entlüftungsöffnungen verringern, wodurch Sie Millionen an Kosten für den Bau Ihres Entlüftungssystems sparen. Darüber hinaus verursachen die Durchflussbegrenzer von Mott Precision keine turbulente Gasströmung, die die Leistung kritischer Gasregelungskomponenten wie Massendurchflussregler, Druckschalter und Messumformer beeinträchtigen könnte. Im Gegenteil: Die porösen Metall-Durchflussbegrenzer von Mott sorgen für eine laminare Gasströmung, was die Leistung dieser empfindlichen Instrumente verbessert.
Kosten- und Infrastrukturvorteile
Durch die Installation von Präzisionsströmungsbegrenzern in den Gasrückhaltesystemen (dh Ventilverteilerkasten, Werkzeugtrennkasten und Gasschrank) zur Begrenzung des Gasstroms in einem katastrophalen Ereignis wird die erforderliche Luftaustauschdurchflussrate in diesen belüfteten Rückhaltesystemen verringert. Ein geringerer erforderlicher Entlüftungsluftstrom bedeutet kleinere Entlüftungsrohrgrößen. Mit kleineren Entlüftungsrohrgrößen können Sie durch die Installation eines kostengünstigen Mott Precision Flow Restrictor über alle Verbindungen von der Unterfabrik zu den Luftbehandlungs- und -reduzierungssystemen erhebliche Kosteneinsparungen erzielen.
Entlüften Sie katastrophale Lecks in Minuten und nicht in Stunden
Mott Precision Flow Restrictors tragen zur Schaffung einer sichereren Umgebung in Ihrer Fabrik bei, indem sie den Gasfluss bei einem katastrophalen Ereignis begrenzen. Wie Sie in der obigen Tabelle sehen können, beträgt die Zeit zum Entlüften eines Lecks bei 2,000 PSI bei installiertem Mott Flow Restrictor etwa 3 Minuten gegenüber 1,000 Minuten in einem System ohne Flow Restrictor.
Als Faustregel gilt, dass Mott Precision Flow Restrictors eine Größe von 125% des maximalen Durchflusses des Massendurchflussreglers oder des erforderlichen Prozessflusses haben. Sie können in der Gasisolierungsbox, im VMB oder im Flaschenschrank installiert werden. Durch die Begrenzung des Gasflusses in die Box wird der maximale Durchfluss bei einem katastrophalen Gasleck begrenzt.
Bei korrekter Dimensionierung kann der Mott Precision Flow Restrictor in das Gassystem eingebaut werden, ohne die nachgeschalteten Instrumente zu beeinträchtigen. Tatsächlich konditionieren Mott Precision Flow Restrictors das Gas in eine laminare Strömung, was die Leistung von thermischen und druckbasierten Massendurchflussreglern verbessert.
Präzisions-Durchflussbegrenzer können auch bei der weichen Entlüftung verwendet werden. Hinterfüllkammern vom Vakuum in die Atmosphäre, Austausch von Nadelventilen, kalibrierten Öffnungen und Massendurchflussreglern.
Einhaltung von Industriestandards – Einhaltung der SEMI S2- und SEMI S6-Richtlinien
Die SEMI S6 EHS-Richtlinie für die Abluftbelüftung von Halbleiterfertigungsanlagen 1 besagt:
7.2.3.3.2 ANMERKUNG 24 Technische Steuerungen wie Überströmventile, Durchflussschalter und Durchflussbegrenzer können verwendet werden, um den verfügbaren Durchfluss zu begrenzen und dadurch die erforderliche Absaugung zu verringern.
7.6.2 Da die Anforderungen an den Abluftstrom stark von der möglichen Freisetzung abhängen, sollte der Ausrüstungslieferant in Betracht ziehen, den verfügbaren Durchfluss von bedenklichen Substanzen, wie z. B. mit Durchflussbegrenzern oder Überströmventilen, zu begrenzen, um den erforderlichen Abluftstrom zu verringern .
Die SEMI S2-Richtlinie für Umwelt, Gesundheit und Sicherheit bei Produktionsanlagen 2 besagt:
22.2 Die Belüftung der Geräte sollte gemäß § 23.5 und SEMI S6 ausgelegt und eine Bewertung der Belüftung durchgeführt werden, um die realistische Exposition der Mitarbeiter gegenüber Chemikalien während des normalen Betriebs, der Wartung oder des Ausfalls anderer Geräte effizient und sicher zu kontrollieren Gerätekomponenten (Hardware oder Software). Alle Entwurfskriterien und Testprotokolle sollten auf anerkannten Methoden basieren.
1 SEMI S2-1016b Ausgabe 2017 – Richtlinie für Umwelt, Gesundheit und Sicherheit bei Halbleiterfertigungsanlagen
2 SEMI S6-0707 Ausgabe 2007 – EHS-Richtlinie für die Abluftführung von Halbleiterfertigungsanlagen
Die Vorteile von Durchflussbegrenzern aus porösem Metall
Die hochreinen Durchflussbegrenzer von Mott verwenden einzigartige poröse Metallmedien, die speziell für die Halbleiterherstellung entwickelt wurden und eine kompakte, lang anhaltende Durchflussregelung bieten, verbunden mit:
Design nach Ihren Vorgaben
Sie geben Mott die benötigte Größe, den Durchfluss und die in Ihrer Umgebung verwendeten Gase an, und wir konstruieren den Mott-Durchflussbegrenzer nach Ihren Anforderungen. Der Durchflussbereich reicht von 100 SLPM bis <1×10⁻⁶ SCCM . Mott-Begrenzer sind standardmäßig für Dauertemperaturen bis 450 °C (Inertgas) und Drücke bis 120 psig ausgelegt; auf Anfrage bis zu 1500 psig.
Kostengünstiges Design
Das einfache Flow Restrictor-Design von Mott besteht aus einem porösen Metallelement in einer Standardarmatur, das maximale Festigkeit und Zuverlässigkeit bei minimalen Kosten bietet.
Ganzmetallkonstruktion
Poröse Metallelemente aus 100% Edelstahl, die dauerhaft in 1/4 "Gleitringdichtungsanschlüssen befestigt sind. Andere Legierungen und Konfigurationen sind verfügbar. Es gibt keine Elastomere oder andere nichtmetallische Materialien, die Partikel biegen oder abwerfen könnten.
Feste, manipulationssichere Leistung
Jeder Mott Flow Restrictor liefert den angegebenen nachgeschalteten Durchfluss für die Lebensdauer des Produkts. Es gibt keine beweglichen Teile oder möglichen Bedienereinstellungen, die die Leistung beeinträchtigen könnten.
Verstopfungsfreie Leistung mit laminarer Strömung
Das poröse Metallelement überspannt die gesamte Breite des inneren Kanals und ermöglicht es Gasen, sich durch Hunderte von Mikrokanälen zu bewegen, ohne die Strömungsgeschwindigkeit zu erhöhen oder unregelmäßige Strömungswege zu erzeugen. Der stromabwärtige Fluss ist glatt und konstant, und das Medium nutzt sich nicht durch Reibung ab oder verstopft, wenn es sporadischen Partikeln ausgesetzt wird
Erweiterte Sicherheit und Einsparungen mit Mott-Durchflussbegrenzern
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