Mott Corporation stellt GasShield HiFlow Sandwichfilter vor
Mott Corporation hat den GasShield HiFlow Sandwich Filter eingeführt, der entwickelt wurde, um die strengen Anforderungen der Halbleiterfertigung der nächsten Generation zu erfüllen. Da die Industrie das Mooresche Gesetz hinter sich lässt, werden Materialien wie Molybdän (Mo) aufgrund ihrer besseren Eigenschaften als herkömmliches Wolfram, wie etwa niedrigerer spezifischer Widerstand und verbesserte Beständigkeit gegen Elektromigration, immer wichtiger.
Die Integration von Molybdän erfordert eine Atomlagenabscheidung (ALD), die spezielle Filterlösungen erfordert, um die Prozessstabilität zu gewährleisten. Der GasShield HiFlow Sandwichfilter von Mott erfüllt diese Anforderung mit folgendem Angebot:
- Hohe Partikelretention: Über 9 LRV bei 1.5 nm gemäß SEMI F38-0720.
- Ganzmetallbau: Verhindert Ablösen und Ausgasen.
- Außergewöhnliche Korrosionsbeständigkeit: Verfügbar mit Legierung C-22 für halogenierte Vorläufer.
- Hochtemperaturstabilität: Bis 460°C.
- Überlegene Durchflusseffizienz: 25–35 % geringerer Druckabfall im Vergleich zu herkömmlichen Scheibenfiltern.
- Ultrahohe Reinheit: Feuchtigkeitsgehalt unter 10 ppb und Kohlenwasserstoffe unterhalb der Nachweisgrenze.
- Kompaktes Design: Abmessungen von 1.12″ x 1.12″ x 0.49″, erleichtern die Integration in enge Werkzeuganordnungen und Hochtemperaturumgebungen.
Darüber hinaus gewährleistet der Filter stabile Durchflussraten (≤2 % Abweichung von Teil zu Teil) und verfügt über eine fünfjährige Zuverlässigkeitsgarantie unter Standardnutzungsbedingungen. Die Plug-and-Play-Installation unterstützt sowohl C-Seal- als auch benutzerdefinierte W-Seal-Optionen.
Paul Hofemann, Halbleitertechnikexperte bei Mott, erklärte: „Der GasShield HiFlow Sandwichfilter ist ein entscheidender Faktor für die More-than-Moore-Fertigung und gewährleistet höhere Erträge, sauberere Prozesse und eine zuverlässigere Leistung bei der ALD-basierten Molybdänabscheidung."
