Mott Corporation stellt GasShield HiFlow Sandwichfilter vor
Mott Corporation hat den GasShield HiFlow Sandwich Filter eingeführt, der entwickelt wurde, um die strengen Anforderungen der Halbleiterfertigung der nächsten Generation zu erfüllen. Da die Industrie das Mooresche Gesetz hinter sich lässt, werden Materialien wie Molybdän (Mo) aufgrund ihrer besseren Eigenschaften als herkömmliches Wolfram, wie etwa niedrigerer spezifischer Widerstand und verbesserte Beständigkeit gegen Elektromigration, immer wichtiger.
Die Integration von Molybdän erfordert die Atomlagenabscheidung (ALD), die spezielle Filtrationslösungen zur Gewährleistung der Prozessstabilität voraussetzt. Der GasShield HiFlow Sandwichfilter von Mott erfüllt diese Anforderung durch folgende Merkmale:
- Hohe Partikelretention: Über 9 LRV bei 1.5 nm gemäß SEMI F38-0720.
- Ganzmetallbau: Verhindert Ablösen und Ausgasen.
- Außergewöhnliche Korrosionsbeständigkeit: Verfügbar mit Legierung C-22 für halogenierte Vorläufer.
- Hochtemperaturstabilität: Bis 460°C.
- Überlegene Durchflusseffizienz: 25–35 % geringerer Druckabfall im Vergleich zu herkömmlichen Scheibenfiltern.
- Ultrahohe Reinheit: Feuchtigkeitsgehalt unter 10 ppb und Kohlenwasserstoffe unterhalb der Nachweisgrenze.
- Kompaktes Design: Abmessungen von 1.12″ x 1.12″ x 0.49″, erleichtern die Integration in enge Werkzeuganordnungen und Hochtemperaturumgebungen.
Darüber hinaus gewährleistet der Filter stabile Durchflussraten (≤ 2 % Abweichung zwischen den Teilen) und bietet eine fünfjährige Zuverlässigkeitsgarantie unter Standardbedingungen. Die Plug-and-Play-Installation unterstützt sowohl C-Dichtungs- als auch kundenspezifische W-Dichtungsoptionen.
Paul Hofemann , Halbleiter-Technikexperte bei Mott, erklärte: „ Der GasShield HiFlow Sandwich-Filter ist ein entscheidender Faktor für die More-than-Moore-Fertigung und gewährleistet höhere Ausbeuten, sauberere Prozesse und eine zuverlässigere Leistung bei der ALD-basierten Molybdänabscheidung .“
